申请/专利权人：光驰科技(上海)有限公司

申请日：2023-09-28

公开（公告）日：2024-04-23

公开（公告）号：CN220827455U

主分类号：C23C14/50

分类号：C23C14/50;C23C14/24

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.23#授权

摘要：本实用新型属于真空镀膜技术领域，公开了镀膜伞架和真空镀膜设备。该镀膜伞架包括机架、第一驱动件、第二驱动件、升降台和驱动轴；第一驱动件、第二驱动件和升降台均设于机架上；升降台设于机架上，第一驱动件通过传动组件与升降台传动连接，第一驱动件能带动带动升降台升降；驱动轴穿设于升降台，驱动轴的一端与第二驱动件驱动连接，驱动轴的另一端与承载部连接，承载部用于放置基板。通过本实用新型，能在实现基板多自由度调节的同时，还能提升镀膜伞架高度调节的准确性。

主权项：1.镀膜伞架，其特征在于，包括：机架1；第一驱动件2和第二驱动件3，均设于所述机架1上；升降台4，所述升降台4设于所述机架1，所述第一驱动件2通过传动组件与所述升降台4传动连接，所述第一驱动件2能带动所述升降台4升降；驱动轴5，穿设于所述升降台4，所述驱动轴5一端与所述第二驱动件3驱动连接，驱动轴5的另一端与承载部6连接，所述承载部6用于放置基板。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 光驰科技(上海)有限公司 镀膜伞架及真空镀膜设备

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