申请/专利权人：光驰科技(上海)有限公司

申请日：2023-09-28

公开（公告）日：2024-04-23

公开（公告）号：CN220827449U

主分类号：C23C14/30

分类号：C23C14/30

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.23#授权

摘要：本实用新型属于真空镀膜技术领域，公开了电子枪挡板组件及真空镀膜设备。该组件包括主轴、第一驱动件和挡板；第一驱动件与主轴的一端驱动连接；挡板与主轴的另一端传动连接，挡板上设有多个沿着周向分布的遮挡部，遮挡部上开设有连通槽，连通槽与坩埚台内的镀膜材料相对，电子束能通过连通槽轰击镀膜材料；遮挡部上设有遮挡边缘，遮挡边缘用以阻挡电子束轰击坩埚台，遮挡边缘为折弯结构。在实用新型中，电子枪挡板组件的调整不会影响镀膜室的真空环境被破坏，保证了真空镀膜的连续性。

主权项：1.电子枪挡板组件，其特征在于，包括：主轴1；第一驱动件2，与所述主轴1的一端驱动连接；挡板3，所述挡板3与所述主轴1的另一端传动连接，所述挡板3上设有多个沿着周向分布的遮挡部4，所述遮挡部4上开设有连通槽41，所述连通槽41与坩埚台100内的镀膜材料相对设置，电子束能通过所述连通槽41轰击所述镀膜材料；所述遮挡部4包括遮挡边缘42，所述遮挡边缘42用以阻挡电子束轰击所述坩埚台100，所述遮挡边缘42为折弯结构。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 光驰科技(上海)有限公司 电子枪挡板组件及真空镀膜设备

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