申请/专利权人：福建华佳彩有限公司

申请日：2019-07-24

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN110453179B

主分类号：C23C14/24

分类号：C23C14/24;H10K71/16;C23C14/12

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.16#授权;2019.12.10#实质审查的生效;2019.11.15#公开

摘要：本发明涉及高真空设备技术领域，特别涉及一种蒸发源挡板。所述一种蒸发源挡板，包括：载台、挡板、压力传感器、磁感应开关和金属片；第一挡板部与载台相向设置，第三挡板部与载台相向设置；金属片分别设置于第一挡板部与载台相对应的下端、及第三挡板部与载台相对应的下端；磁感应开关设置于载台上；金属片与磁感应开关相向设置；压力传感器设置于载台上，压力传感器设置于磁感应开关两侧。通过该装置当挡板没有发生形变时，金属片不会触碰到旁边的压力传感器，故而压力传感器不会感应到压力，而当挡板发生形变或没有摆放到正确的位置时，压力传感器就会感应到压力，侦测到异常，随后发出警报，告知操作人员发生错误，节省人力，提高效率。

主权项：1.一种蒸发源挡板，其特征在于，包括：载台、挡板、压力传感器、磁感应开关和金属片；所述挡板包括：第一挡板部、第二挡板部和第三挡板部；所述第二挡板部分别连接所述第一挡板部和所述第三挡板部，所述第二挡板部内凹用于遮盖蒸发源开口；所述第一挡板部与所述载台相向设置，所述第三挡板部与所述载台相向设置；所述金属片分别设置于所述第一挡板部与所述载台相对应的下端、及所述第三挡板部与所述载台相对应的下端；所述磁感应开关设置于所述载台上；所述金属片与所述磁感应开关相向设置；所述压力传感器设置于所述载台上，所述压力传感器设置于所述磁感应开关两侧；还包括：定位片；所述压力传感器通过定位片设置于所述载台上；所述金属片长度大小与所述磁感应开关长度大小相同，且所述金属片与所述磁感应开关正相向设置。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 福建华佳彩有限公司 一种蒸发源挡板

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