申请/专利权人：福建华佳彩有限公司

申请日：2019-07-24

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN110423986B

主分类号：C23C14/24

分类号：C23C14/24;H10K71/16;C23C14/12

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.16#授权;2019.12.03#实质审查的生效;2019.11.08#公开

摘要：本发明涉及高真空设备技术领域，特别涉及一种蒸发源挡板。所述一种蒸发源挡板，包括：载台、挡板、磁场检测器、磁感应开关和金属片；挡板包括：第一挡板部、第二挡板部和第三挡板部；第二挡板部内凹用于遮盖蒸发源开口；第一挡板部与载台相向设置，第三挡板部与载台相向设置；金属片分别设置于第一挡板部与载台相对应的下端、及第三挡板部与载台相对应的下端；磁感应开关设置于载台上；金属片与磁感应开关相向设置；磁场检测器分别设置于金属片两侧，磁场检测器与磁感应开关相向设置。通过该装置，磁场检测器可通过检测每次传送的磁场是否相同，若不同，则说明挡板发生形变而偏移，则会发出警报，告知工作人员发生异常。

主权项：1.一种蒸发源挡板，其特征在于，包括：载台、挡板、磁场检测器、磁感应开关和金属片；所述挡板包括：第一挡板部、第二挡板部和第三挡板部；所述第二挡板部分别连接所述第一挡板部和所述第三挡板部，所述第二挡板部内凹用于遮盖蒸发源开口；所述第一挡板部与所述载台相向设置，所述第三挡板部与所述载台相向设置；所述金属片分别设置于所述第一挡板部与所述载台相对应的下端、及所述第三挡板部与所述载台相对应的下端；所述磁感应开关设置于所述载台上；所述金属片与所述磁感应开关相向设置；所述磁场检测器分别设置于所述金属片两侧，所述磁场检测器与所述磁感应开关相向设置；还包括：定位片；所述磁场检测器通过定位片分别设置于所述第一挡板部和所述第三挡板部；所述磁感应开关通过定位片设置于所述载台上；所述金属片与所述磁感应开关中间部位相向设置。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 福建华佳彩有限公司 一种蒸发源挡板

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