申请/专利权人：日本电子株式会社

申请日：2020-03-05

公开（公告）日：2024-04-23

公开（公告）号：CN111826613B

主分类号：C23C14/30

分类号：C23C14/30;C23C14/24

优先权：["20190415 JP 2019-076939"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.23#授权;2022.02.25#实质审查的生效;2020.10.27#公开

摘要：本发明提供一种能够谋求容器的大容量化的间接加热蒸镀源。间接加热蒸镀源1具备：容器内衬2，其形成为有底的筒状，且供蒸镀材料4填充；容器保持部保持件3，其保持容器；电子源8，其放出用于对容器进行电子冲击加热的热电子电子束25；以及扫描线圈21，其使自电子源放出的热电子的照射范围扩大。

主权项：1.一种间接加热蒸镀源，其特征在于，该间接加热蒸镀源具备：容器，其形成为有底的筒状，且供蒸镀材料填充；容器保持部，其保持所述容器；电子源，其放出用于对所述容器进行电子冲击加热的热电子；以及扫描线圈，其使自所述电子源放出的热电子的照射范围扩大，该间接加热蒸镀源具备配置于所述容器与所述电子源之间的阳极，所述扫描线圈与所述阳极的同所述容器相对的一侧的相反侧相对。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 日本电子株式会社 间接加热蒸镀源

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