申请/专利权人：达运精密工业股份有限公司

申请日：2024-02-08

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN117888064A

主分类号：C23C14/24

分类号：C23C14/24

优先权：["20231106 TW 112142694"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.04.16#公开

摘要：一种蒸镀遮罩，包括：外框及子遮罩。外框具有开口，开口的两侧具有相对的两定位侧边。子遮罩适于连接外框，并具有图案区域以及两固定区域，图案区域位于子遮罩的中央，固定区域位于图案区域的相对两侧，并适于在子遮罩与外框连接时分别连接于不同的定位侧边。在子遮罩的表面上具有第一基准点以及第二基准点，第一基准点位于图案区域的中央，第二基准点位于图案区域靠近固定区域其中之一的边缘。沿着子遮罩的厚度方向上，第一基准点及第二基准点之间的第一距离小于或等于200μm。本申请还提供一种蒸镀遮罩的评价方法。

主权项：1.一种蒸镀遮罩，其特征在于，包括：一外框，具有一开口，该开口的两侧具有相对的两定位侧边；以及一子遮罩，适于连接该外框，并具有一图案区域以及两固定区域，该图案区域位于该子遮罩的中央，该两固定区域位于该图案区域的相对两侧，并适于在该子遮罩与该外框连接时分别连接于不同的该定位侧边；其中，在该子遮罩的一表面上具有一第一基准点以及一第二基准点，该第一基准点位于该图案区域的中央，该第二基准点位于该图案区域靠近该两固定区域其中之一的一边缘，沿着该子遮罩的一厚度方向上，该第一基准点及该第二基准点之间的一第一距离小于或等于200μm。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 达运精密工业股份有限公司 蒸镀遮罩及蒸镀遮罩的评价方法

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