申请/专利权人：威科赛乐微电子股份有限公司

申请日：2022-08-10

公开（公告）日：2024-04-23

公开（公告）号：CN115430629B

主分类号：B08B1/12

分类号：B08B1/12;B08B1/14;B08B1/30;B08B1/34;B08B3/02;B08B3/08;B08B3/12;B08B13/00;F26B21/00;G01N21/94

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.23#授权;2022.12.23#实质审查的生效;2022.12.06#公开

摘要：本发明涉及半导体器件的辅助工艺领域，公开了一种光罩清洗检测装置及方法，包括：壳体和清洗部，清洗部包括夹具头，夹具头包括若干与光罩卡合连接的顶针，顶针和光罩之间设置有缓冲结构，夹具头还包括运动结构，运动结构包括分别连接有顶针的第一连接杆、第二连接杆和第三连接杆，第一连接杆、第二连接杆和第三连接杆之间通过齿轮传动。本申请中设置多个可以在多个方向上移动的顶针，从而完全卡合至光罩，从而降低顶针与光罩之间相对滑动造成的光罩上的图案被损坏的概率，顶针与光罩之间通过缓冲结构进行连接，降低了顶针对光罩表面的摩擦滑损。

主权项：1.一种光罩清洗检测装置，其特征在于，包括：壳体5和设置在所述壳体5内的清洗部2，所述清洗部2包括夹具头231，所述夹具头231包括若干与光罩卡合连接的顶针2311，所述顶针2311上设置有缓冲结构2313，所述夹具头231还包括运动结构2312，所述运动结构2312包括第一连接杆23121、第二连接杆23123和第三连接杆23125，所述第一连接杆23121、所述第二连接杆23123和所述第三连接杆23125上分别设置有所述顶针2311，所述第一连接杆23121、所述第二连接杆23123和所述第三连接杆23125之间通过齿轮传动，所述缓冲结构2313内设置有弹簧，所述缓冲结构2313表面设置有橡胶，所述夹具头231的数量至少为4个，所述夹具头231包括顶针2311、运动结构2312、缓冲结构2313和夹持驱动2314，所述运动结构2312还包括水平放置齿轮组23122、竖直放置齿轮组23124，所述顶针设置在所述第三连接杆23125上，所述第一连接杆23121与所述夹持驱动2314连接，驱动所述第一连接杆23121在Y方向的运动，所述第一连接杆23121传动连接至所述水平放置齿轮组23122，所述水平放置齿轮组23122传动连接至所述第二连接杆23123，实现第二连接杆23123在X方向上的运动，所述第二连接杆23123传动连接至所述竖直放置齿轮组23124，所述竖直放置齿轮组23124传动连接至所述第三连接杆23125，实现第三连接杆23125在Z方向上的运动。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 威科赛乐微电子股份有限公司 一种光罩清洗检测装置及方法

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD