申请/专利权人:青岛高测科技股份有限公司
申请日:2023-10-10
公开(公告)日:2024-04-23
公开(公告)号:CN220825769U
主分类号:B24B9/06
分类号:B24B9/06;B24B49/12;B24B41/00;B24B41/06
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.04.23#授权
摘要:本实用新型涉及电子产品制造技术领域,具体涉及一种加工设备。本实用新型旨在解决现有倒角机对取料装置的校准操作比较繁琐的技术问题。为此目的,本实用新型的加工设备包括机座、取料装置、检测装置和定位装置,定位装置用于对晶圆的中心点进行定位,取料装置能够将定位装置上的晶圆转移至检测装置,检测装置能够检测晶圆的中心点的位置以便对取料装置的进行校准。通过设置定位装置对晶圆的中心点进行定位,并结合检测装置来检测晶圆的中心点位置,便于对取料装置的进行校准,操作更加简便。
主权项:1.一种加工设备,其特征在于,所述加工设备包括机座以及安装在所述机座上的取料装置、检测装置和定位装置,所述定位装置用于对晶圆的中心点进行定位,所述取料装置能够将所述定位装置上的晶圆转移至所述检测装置,所述检测装置能够检测晶圆的中心点的位置以便对所述取料装置进行校准。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 青岛高测科技股份有限公司 加工设备
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