申请/专利权人:安赛乐米塔尔公司
申请日:2022-09-01
公开(公告)日:2024-04-26
公开(公告)号:CN117941042A
主分类号:H01L21/48
分类号:H01L21/48;H01L23/373
优先权:["20211019 IB PCT/IB2021/059607"]
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.05.14#实质审查的生效;2024.04.26#公开
摘要:本发明涉及一种用于制造散热器的方法,该方法包括以下步骤:i.将粘合剂沉积在至少一个石墨层的主表面上,以获得涂覆有粘合剂层的至少一个石墨层,其中,ii.将涂覆有粘合剂层的所述至少一个石墨层定位在彼此的顶部上,以便形成石墨层和粘合剂层交替的第一层堆叠件;iii.将厚度为10μm至200μm的石墨层定位在所述第一层堆叠件上以便形成第二层堆叠件,其中石墨层作为顶层和底层;iv.用7MPa至20MPa的压力对所述第二层堆叠件进行压缩,以形成石墨基层压件;v.对所述石墨基层压件进行加热,以便除去粘合剂的溶剂。
主权项:1.一种用于制造散热器的方法,所述方法包括以下步骤:i.将粘合剂1沉积在至少一个石墨层2的主表面上,以获得涂覆有粘合剂层10的至少一个石墨层2,其中,a.所述粘合剂层10的厚度为0.5μm至10μm,并且所述粘合剂层10包括溶剂,b.所述至少一个石墨层2的厚度为10μm至200μm,并且所述至少一个石墨层2具有两个相反的主表面,ii.可选地,将涂覆有粘合剂层的所述至少一个石墨层定位在涂覆有粘合剂层10的至少另一石墨层2的顶部上,以便形成石墨层和粘合剂层交替的第一层堆叠件3,iii.将厚度为10μm至200μm的石墨层20定位在所述第一层堆叠件3上以便形成第二层堆叠件4,其中石墨层作为顶层和底层,iv.用7MPa至20MPa的压力对所述第二层堆叠件4进行压缩,以形成石墨基层压件5,v.对所述石墨基层压件5进行加热,以便除去所述粘合剂的所述溶剂。
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