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MAD设备的进气系统 

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申请/专利权人:深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司

摘要:本实用新型公开了一种MAD设备的进气系统,包括水蒸气进气单元和源进气单元,水蒸气进气单元包括依次连接的第一氮气源、第一氮气进气管路、水瓶和水蒸气出气管路,水蒸气出气管路上设置有第一压力控制器,源进气单元包括依次连接的第二氮气源、第二氮气进气管路、源瓶和源出气管路,源出气管路上设置有第二压力控制器。本实用新型的MAD设备的进气系统,水瓶及源瓶三甲基铝独立控压,通过第一压力控制器和第二压力控制器设定不同的压力,从而输出不同浓度的水蒸气及三甲基铝,保证了工艺的持续稳定性及改善了均匀性。可以提升的工艺的灵活性,让水瓶及源瓶压力与炉管压力有了更多匹配方式,提升了工艺窗口。

主权项:1.一种MAD设备的进气系统,其特征在于,包括:水蒸气进气单元,包括依次连接的第一氮气源、第一氮气进气管路、水瓶和水蒸气出气管路,所述水蒸气出气管路上设置有第一压力控制器;源进气单元,包括依次连接的第二氮气源、第二氮气进气管路、源瓶和源出气管路,所述源出气管路上设置有第二压力控制器。

全文数据:

权利要求:

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