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恭喜罗门哈斯电子材料有限责任公司"热酸产生剂以及光致抗蚀剂图案修整组合物和方法"专利获国家发明授权专利权

龙图腾网恭喜罗门哈斯电子材料有限责任公司申请的专利热酸产生剂以及光致抗蚀剂图案修整组合物和方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN106631923B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2020-05-19发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201610917113.7,技术领域涉及:C07C309/58(20060101);该发明授权热酸产生剂以及光致抗蚀剂图案修整组合物和方法是由I·考尔;刘骢;K·罗威尔;G·波勒尔斯;李明琦设计研发完成,并于2016-10-20向国家知识产权局提交的专利申请。

热酸产生剂以及光致抗蚀剂图案修整组合物和方法在说明书摘要公布了:提供离子性热酸产生剂,其包含:包含一个或多个氟化醇基团的芳香族磺酸的阴离子和阳离子。此外提供包括离子性热酸产生剂、基质聚合物和溶剂的光致抗蚀剂图案修整组合物,以及使用所述修整组合物修整光致抗蚀剂图案的方法。所述热酸产生剂、组合物和方法尤其适用于制造半导体装置。

本发明授权热酸产生剂以及光致抗蚀剂图案修整组合物和方法在权利要求书中公布了:1.一种离子性热酸产生剂,其包含:选自以下各项的阴离子;和有机阳离子:

如需购买、转让、实施、许可或投资上述专利技术或类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人罗门哈斯电子材料有限责任公司,其通讯地址为:美国马萨诸塞州;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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本专利喜报专利信息来源于国家知识产权局官网发布的专利公告,由龙图腾网整理发布。
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