龙图腾网恭喜应用材料公司申请的专利外延生长装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN108728823B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2020-09-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201810343931.X，技术领域涉及：C23C16/455(20060101)；该发明授权外延生长装置是由冈部晃;森义信设计研发完成，并于2013-10-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本外延生长装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种能使生长速度提高的外延生长装置。外延生长装置包括：反应室，由载置基板的基板载置部、具有透光性的顶板及侧壁部而划分；加热单元，设置于反应室外部，且将载置于反应室内的基板经由所述顶板来进行加热；以及反应气体导入单元，与基板的水平方向相平行地向反应室内导入反应气体；并且顶板的中心与所述基板载置部的距离小于10mm。

本发明授权外延生长装置在权利要求书中公布了：1.一种使用于处理装置中的顶部，所述顶部包括：环状支撑部，所述环状支撑部进一步包括：贯通孔，所述贯通孔具有第一斜面部，所述第一斜面部的直径从所述环状支撑部的上表面朝向所述环状支撑部的底表面减小；和突出部，所述突出部在所述环状支撑部的径向内侧朝向所述环状支撑部的下侧突出，所述突出部具有第二斜面部，所述第二斜面部的直径朝向所述环状支撑部的中心向下沿突出方向减小；和顶板，所述顶板耦接至所述环状支撑部的所述突出部。

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