龙图腾网恭喜凯斯科技股份有限公司申请的专利基板处理装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN218241781U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2023-01-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202221816524.4，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型基板处理装置是由金东旻;李东华设计研发完成，并于2022-06-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本基板处理装置在说明书摘要公布了：公开了一种基板处理装置。根据一个实施例的基板处理装置，可包括：处理腔室，其包括处理空间和开口面，其中，处理空间用于对基板进行超临界处理工艺，开口面形成于外面，与处理空间相连通的出入口位于开口面；门，其开闭出入口，包括在封闭出入口的状态下覆盖出入面的门面；密封部，其安装于出入面，以出入口封闭的状态为基准，沿出入口的周边对出入面及门面之间的空间进行密封；以及盖部，其以包围密封部的周围的形式安装于出入面，并且在门封闭出入口的过程中，向门方向对密封部进行加压。

本实用新型基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，其特征在于，包括：处理腔室，其包括处理空间和开口面，其中，处理空间用于对基板进行超临界处理工艺，开口面形成于外面，与处理空间相连通的出入口位于开口面；门，其开闭出入口，包括在封闭出入口的状态下覆盖出入面的门面；密封部，其安装于出入面，以出入口封闭的状态为基准，沿出入口的周边对出入面及门面之间的空间进行密封；以及盖部，其以包围密封部的周围的形式安装于出入面，并且在门封闭出入口的过程中，向门方向对密封部进行加压。

如需购买、转让、实施、许可或投资上述专利技术或类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人凯斯科技股份有限公司，其通讯地址为：韩国京畿道安城市；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

龙图腾网（www.lotut.com）是知识产权全产业链服务平台，平台围绕知识产权代理、知识产权管理、商标查询、商标转让交易、专利检索、专利转让运营、科技成果转化等，通过“互联网+知识产权”的方式，整合资源与服务，为广大知识产权代理机构、科技咨询公司、律师事务所以及各类科技创新企业、科研院所、大专院校等，提供龙图腾商标专利检索分析平台、龙图腾知识产权管家、龙图腾知识产权交易平台等人工智能大数据云产品服务、知识产权服务、科技成果转移转化服务等。