恭喜乐孜芯创半导体设备(上海)有限公司王周杰获国家专利权
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龙图腾网恭喜乐孜芯创半导体设备(上海)有限公司申请的专利一种晶圆编码识别装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN219738923U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2023-09-22发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202321161709.0，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种晶圆编码识别装置是由王周杰;张明辉;权汉钊设计研发完成，并于2023-05-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆编码识别装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种晶圆编码识别装置，其应用于晶圆预对准系统中，晶圆预对准系统上放置有晶圆，包括：固定座；支撑部件，设于固定座上；识别元件，设于支撑部件上，用于对晶圆编码进行识别；第一驱动部件，设于固定座上，与支撑部件连接，用于驱动支撑部件沿靠近晶圆的方向移动；第二驱动部件，设于晶圆预对准系统中，用于驱动晶圆沿靠近支撑部件的方向平移。相对于现有技术中只移动检测相机的方式，本实用新型在通过第一驱动部件移动识别元件的同时，还通过第二驱动部件平移晶圆，使得两者靠近，从而缩短了识别元件的移动行程，减小了整个装置的空间尺寸布局。
本实用新型一种晶圆编码识别装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆编码识别装置，其应用于晶圆预对准系统中，所述晶圆预对准系统上放置有晶圆，其特征在于，包括：固定座，支撑部件，设于所述固定座上，识别元件，设于所述支撑部件上，用于对晶圆编码进行识别，第一驱动部件，设于所述固定座上，与支撑部件连接，用于驱动支撑部件沿靠近所述晶圆的方向移动，第二驱动部件，设于晶圆预对准系统中，用于驱动所述晶圆沿靠近所述支撑部件的方向平移。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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