恭喜粤芯半导体技术股份有限公司王康获国家专利权
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龙图腾网恭喜粤芯半导体技术股份有限公司申请的专利晶圆夹持装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN219738939U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2023-09-22发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202320959845.8，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型晶圆夹持装置是由王康设计研发完成，并于2023-04-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆夹持装置在说明书摘要公布了：本申请提供一种晶圆夹持装置，与机械臂连接，晶圆夹持装置包括支撑板和多个夹持部，每一夹持部均与支撑板连接，每一夹持部用于夹持一晶圆，夹持部的数量与前开放式晶圆盒内的载板的数量相匹配，载板用于承载放置于前开放式晶圆盒内的晶圆，每两相邻的夹持部之间的距离与每两相邻的载板之间的距离相等，每一夹持部上均设置有真空吸附结构，真空吸附结构用于吸附晶圆，以提高晶圆的夹持效率，并避免晶圆在传送中出现损伤。
本实用新型晶圆夹持装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆夹持装置，其特征在于，与机械臂连接，所述晶圆夹持装置包括支撑板和多个夹持部，每一所述夹持部均与所述支撑板连接，每一所述夹持部用于夹持一晶圆，所述夹持部的数量与前开放式晶圆盒内的载板的数量相匹配，所述载板用于承载放置于所述前开放式晶圆盒内的所述晶圆，每两相邻的所述夹持部之间的距离与每两相邻的所述载板之间的距离相等，每一所述夹持部上均设置有真空吸附结构，所述真空吸附结构用于吸附所述晶圆。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人粤芯半导体技术股份有限公司，其通讯地址为：510700 广东省广州市黄埔区凤凰五路28号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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