恭喜南京理工大学杨海波获国家专利权
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龙图腾网恭喜南京理工大学申请的专利一种转动输出的双质量块音叉角速率陀螺仪获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN107687845B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2023-09-26发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201710811177.3,技术领域涉及:G01C19/5621;该发明授权一种转动输出的双质量块音叉角速率陀螺仪是由杨海波;苏岩;朱欣华设计研发完成,并于2017-09-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种转动输出的双质量块音叉角速率陀螺仪在说明书摘要公布了:本发明公开了一种转动输出的双质量块音叉角速率陀螺仪,包括上层真空封装盖板、下层硅衬底和中层单晶硅片,中层单晶硅片上设有陀螺机械结构,所述陀螺机械结构的两个子结构左右对称分布在横梁中部支撑直梁和驱动电容的两侧,并分别与横梁连接,该横梁通过中部支撑直梁和端部折叠梁与上层真空封装盖板和下层硅衬底锚固,使中层的机械结构部分悬空在上层封装盖板和下层硅衬底之间。本发明实现了转动模态输出,降低了驱动模态和检测模态之间的运动耦合,减少了驱动电容在工作中的变化,提高了陀螺性能的稳定性,并使高阶模态频率大于工作模态频率两倍以上,起到了有效的模态隔离,具有较强的抗振动干扰能力。
本发明授权一种转动输出的双质量块音叉角速率陀螺仪在权利要求书中公布了:1.一种转动输出的双质量块音叉角速率陀螺仪,其特征在于:包括上层真空封装盖板、下层硅衬底和中层单晶硅片,中层单晶硅片上设有陀螺机械结构,所述陀螺机械结构包括驱动电容(8)、两个驱动检测电容(7)、两个子结构(1)、两个横梁(3)、两个中部支撑直梁(9)和四个折叠支撑梁(2);所述两个子结构(1)左右对称分布在中部支撑直梁(9)的两侧;所述两个横梁(3)均与两个子结构(1)相连,且上下对称分布在两个子结构(1)的上部和下部;所述两个中部支撑直梁(9)上下对称分布,一端与横梁(3)的中部的内侧相连,另一端与上层真空封装盖板和下层硅衬底锚固;所述四个折叠支撑梁(2)对称分布在整个结构的四角位置,一端与横梁(3)端部相连,另一端与上层真空封装盖板和下层硅衬底锚固,折叠支撑梁(2)与横梁(3)的夹角为45°;两个驱动检测电容(7)设置在驱动电容(8)的上部和下部,驱动电容(8)和两个驱动检测电容(7)位于两个子结构(1)之间;所述子结构(1)包括质量块(4)、两个检测电容(6)和四个驱动连接梁(5);质量块(4)为矩形,并在四个角上分别切出长方形缺口,所述缺口通过驱动连接梁(5)与横梁(3)相连;驱动电容(8)和两个驱动检测电容(7)位于两个子结构(1)的质量块(4)之间,质量块(4)的两侧分别布置若干活动梳齿,一侧与驱动电容(8)的固定梳齿和驱动检测电容(7)的固定梳齿配合;两个检测电容(6)上下并列分布在质量块(4)的另一侧,检测电容(6)的固定梳齿与质量块(4)的活动梳齿配合;所述驱动连接梁(5)包括两个平行的直梁,一端与横梁(3)连接,另一端和质量块(4)相连,且沿质量块(4)长度方向布置;所述横梁(3)为水平布置的矩形板,两端分别与折叠支撑梁(2)相连,中部内侧与支撑直梁(9)相连。
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