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龙图腾网恭喜上海集成电路研发中心有限公司;上海先综检测有限公司申请的专利一种缺陷检查的装置和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111146105B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2023-09-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201911388673.8，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权一种缺陷检查的装置和方法是由玉虫秀一;李琛;赵宇航;李铭;卢意飞;王鹏飞设计研发完成，并于2019-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种缺陷检查的装置和方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种缺陷检查的装置和方法，该方法包括采用位置测量模块测量被检查对象的位置信息；根据位置信息，当被检查对象移动了摄像模块的一个像素时，产生一定时脉冲，并通过校正定时脉冲误差，将该定时脉冲延迟一个时钟之后输出；根据延迟了一个时钟的所述定时脉冲，对被检查对象的表面进行摄像，并输出图像信号；根据图像信号，检查被检查对象的缺陷。因此，本发明通过改善定时脉冲的精度，使图像分辨率得到改善，即使在使用慢速输出速率位置信息时也能产生精确触发脉冲的方法。

本发明授权一种缺陷检查的装置和方法在权利要求书中公布了：1.一种缺陷检查的装置，其特征在于，包括：总控制接口模块，用于数据的输入输出；其中，所述数据包括用户信息数据、检查结果数据和操作流程控制数据，所述检查结果数据包括数字和或图像数据；承载平台，用于搭载被检查对象，且使被检查对象随所述承载平台的移动而移动；照明模块，对搭载在所述承载平台上的所述被检查对象进行照明；摄像模块，在所述照明模块的协同下，对所述被检查对象的表面进行摄像，并输出图像信号；位置测量模块，测量所述被检查对象的位置信息；所述位置测量模块包括线性图像传感单元；定时脉冲发生模块，根据所述位置信息，当所述被检查对象移动了所述摄像模块的一个像素时，产生一定时脉冲；并且，定时脉冲发生模块通过校正定时脉冲误差，使所述定时脉冲延迟一个时钟之后输出，对所述被检查对象的表面进行摄像；所述定时脉冲发生模块，包括：加法器，将所述线性图像传感单元的像素尺寸ΔX相加，并输出触发坐标XT；微分器，根据被检查对象的位置信息XL求得速度v；比较器，用于将所述位置信息XL和所述加法器的输出值的大小关系进行比较，产生触发信号Trg；运算器，接收所述触发坐标XT、触发信号Trg、位置信息XL和速度v，并执行规定运算XT+ΔX-XLv，得到一个时钟延时时间；延迟单元，根据所述时钟延时时间，发出延时一个时钟的延迟脉冲；下降沿检测单元，检测延迟脉冲的下降沿，启动所述摄像模块对所述被检查对象的表面进行摄像；其中，所述位置信息XL的更新频率大于所述线性图像传感单元的定时脉冲频率，所述延迟单元的工作频率大于所述位置信息XL的更新频率；以及图像处理模块，根据所述图像信号检查所述被检查对象的缺陷。

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