ASM IP私人控股有限公司D.皮耶鲁克斯获国家专利权
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龙图腾网获悉ASM IP私人控股有限公司申请的专利衬底处理设备和用于处理衬底的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111613551B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010101763.0，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权衬底处理设备和用于处理衬底的方法是由D.皮耶鲁克斯;W.克奈彭;B.琼布罗德;J.弗卢特设计研发完成，并于2020-02-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本衬底处理设备和用于处理衬底的方法在说明书摘要公布了：本公开涉及一种衬底处理设备，所述衬底处理设备包括：第一反应器，所述第一反应器被构造和布置成处理其中具有多个衬底的机架；第二反应器，所述第二反应器被构造和布置成处理衬底；以及衬底转移装置，所述衬底转移装置被构造和布置成向第一反应器和第二反应器转移衬底以及从第一反应器和第二反应器转移衬底。所述第二反应器可设置有照明系统，所述照明系统被构造和布置成将在100到500纳米范围内的紫外辐射辐照到所述第二反应器中的至少一个衬底的顶表面上。
本发明授权衬底处理设备和用于处理衬底的方法在权利要求书中公布了：1.一种衬底处理设备，所述衬底处理设备包括： 第一反应器，所述第一反应器被构造和布置成处理其中具有多个衬底的机架； 第二反应器，所述第二反应器被构造和布置成处理衬底； 衬底转移装置，所述衬底转移装置被构造和布置成向所述第一反应器和所述第二反应器转移衬底以及从所述第一反应器和所述第二反应器转移衬底；其中所述第二反应器设置有照明系统，所述照明系统被构造和布置成将在100至500纳米范围内的紫外辐射辐照到所述第二反应器中的至少一个衬底的顶表面上；以及 功率控制器，所述功率控制器被构造成控制照明系统的功率， 其中所述衬底转移装置包括升降机，所述升降机构造和布置成移动第一反应器中的机架， 其中，所述第二反应器被构造和布置成在反应室内接收衬底机架，所述照明系统被构造和布置成从衬底机架的一侧将紫外辐射照射到衬底机架内至少一个衬底的顶表面上；且 其中所述功率控制器被编程为沿着所述衬底机架的宽度调节照明系统的辐射输出，以避免衬底机架过度加热。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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