恭喜长春理工大学李响获国家专利权
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龙图腾网恭喜长春理工大学申请的专利一种用于离轴缩束光学系统的装调装置与装调方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113777797B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2023-09-26发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110973784.6,技术领域涉及:G02B27/62;该发明授权一种用于离轴缩束光学系统的装调装置与装调方法是由李响;孙梓庭;宋延嵩;高亮;安岩;董岩设计研发完成,并于2021-08-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于离轴缩束光学系统的装调装置与装调方法在说明书摘要公布了:本发明提供了一种用于离轴缩束光学系统的装调装置与装调方法,装置包括ZYGO干涉仪、离轴缩束装调子系统、离轴缩束光学系统、方位俯仰台和基准反射镜;离轴缩束光学系统包括离轴次镜室、离轴次镜、主框架、离轴主镜和离轴主镜室,主框架固定在方位俯仰台上;离轴缩束装调子系统包括侧面工装和正面工装,侧面工装带动正面工装进行平移运动,正面工装带动离轴次镜进行转动、俯仰运动及平移运动;ZYGO干涉仪位于离轴主镜前,基准反射镜位于离轴次镜前,ZYGO干涉仪的出射光与主框架上的入光口重合。本发明解决了传统装调装置和方法难以对离轴光学系统在保证镜室能够安装上主框架的前提下,提升装调效率,批量化生产的问题。
本发明授权一种用于离轴缩束光学系统的装调装置与装调方法在权利要求书中公布了:1.一种用于离轴缩束光学系统的装调装置,其特征在于:包括ZYGO干涉仪1、离轴缩束装调子系统2、离轴缩束光学系统3、方位俯仰台4和基准反射镜5;所述的离轴缩束光学系统3包括离轴次镜室32、离轴次镜33、主框架34、离轴主镜35和离轴主镜室37,所述的离轴主镜35安装在离轴主镜室37内,所述的离轴次镜33安装在离轴次镜室32内,所述的离轴主镜室37和离轴次镜室32分别设置在主框架34的相对两侧,所述的主框架34固定在方位俯仰台4上;所述的离轴缩束装调子系统2包括侧面工装21和正面工装22,所述的侧面工装21固定在主框架34的侧面,正面工装设置在主框架34的正面,所述的正面工装22固定在侧面工装21上;所述侧面工装21带动正面工装22进行平移运动,所述正面工装22带动离轴次镜33进行转动、俯仰运动及平移运动;所述的ZYGO干涉仪1位于主框架34的入光口前,所述的基准反射镜5位于主框架34的出光口前,ZYGO干涉仪1的出射光与主框架34上的入光口重合;所述侧面工装21包括侧面工装旋钮211、螺纹阶梯轴212、侧面安装板213、两个孔用挡圈Ⅰ214、两个轴承Ⅰ215、侧面工装轴套Ⅰ216、侧面工装轴套Ⅱ217、螺纹阶梯轴固定螺母218、连接块219和两个连接阶梯轴2110;所述连接块219安装在侧面安装板213的槽内,两个连接阶梯轴2110的一端穿过侧面安装板213的两个滑杆孔并通过螺纹连接固定到连接块219上,两个连接阶梯轴2110的另一端通过螺母连接所述的正面工装22;所述螺纹阶梯轴212一端是光轴,另一端是螺纹轴,螺纹阶梯轴212的光轴端穿过连接块219且在螺纹阶梯轴212与连接块219连接处依次在光轴端安装其中一个孔用挡圈Ⅰ、其中一个轴承Ⅰ215、侧面工装轴套Ⅰ216、另一个轴承Ⅰ215、另一个孔用挡圈Ⅰ214、侧面工装轴套Ⅱ217和螺纹阶梯轴固定螺母218实现螺纹阶梯轴212与连接块219的轴向固定且能周向转动,螺纹阶梯轴212的螺纹轴端穿过侧面安装板213并与侧面安装板213螺纹连接;所述侧面工装旋钮211安装在螺纹阶梯轴212的螺纹轴端上,旋动侧面工装旋钮211时螺纹阶梯轴212在侧面安装板213内螺旋转动,将螺纹阶梯轴212的转动转变为连接块219在侧面安装板213的槽内平移运动,进而使正面工装22进行平移运动。
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