恭喜广东阿达智能装备有限公司贺云波获国家专利权
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龙图腾网恭喜广东阿达智能装备有限公司申请的专利一种晶圆料盒定位装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN107180780B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2023-09-26发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201710618106.1,技术领域涉及:H01L21/68;该发明授权一种晶圆料盒定位装置是由贺云波;张昌;刘青山;陈新;高健;杨志军;张凯;汤晖;陈桪;陈云设计研发完成,并于2017-07-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆料盒定位装置在说明书摘要公布了:本发明公开一种晶圆料盒定位装置,定位底座用于承托载料盒,板面上的按载料盒的尺寸、在不同位置贯通设置连接孔;限位块通过连接孔可拆卸固定于定位底座的上表面,载料盒的每个边缘至少对应设置一个限位块,通过改变限位块的固定位置,可以与不同尺寸的载料盒相互匹配,从而使限位块能够紧紧地与载料盒的边缘紧贴固定,通过多个限位块的相互配合将载料盒卡接定位。因本发明中的限位块的位置可改变,并且定位底座上的连接孔根据载料盒的尺寸相应设定,从而使限位块的相对间距可以与不同的载料盒相匹配,因而能够对应匹配不同规格尺寸的载料盒,仅需一个定位装置即可定位多种载料盒,不需要更换载料盒,节省了更换的时间,提高生产效率。
本发明授权一种晶圆料盒定位装置在权利要求书中公布了:1.一种晶圆料盒定位装置,其特征在于,包括:定位底座(1),用于承托载料盒,板面上按载料盒的尺寸、在不同位置贯通设置连接孔;限位块(2),通过所述连接孔可拆卸固定于所述定位底座(1)的上表面;载料盒的每个边缘至少对应设置一个所述限位块(2),多个所述限位块(2)相互配合将载料盒卡接定位;定位底座(1)包括左侧底座(11)和右侧底座(12),左侧底座(11)和右侧底座(12)的上表面保持齐平,两者之间具有连接段(13),连接段(13)的厚度小于左侧底座(11)和右侧底座(12),在左侧底座(11)和右侧底座(12)之间固定连接水平传感触动条(4),水平传感触动条(4)的厚度小于所述左侧底座(11)和所述右侧底座(12),水平传感触动条(4)固定在左侧底座(11)和右侧底座(12)之间的连接段(13)上,水平传感触动条(4)中间部分通过螺栓与连接段(13)固定,水平传感触动条(4)的长度大于连接段(13),连接段(13)的长度也小于左侧底座(11)、右侧底座(12),在水平传感触动条(4)两端部的下方空间处设置压力传感器,所述水平传感触动条(4)的下表面通过弹簧压接所述压力传感器,根据水平传感触动条(4)对两个压力传感器所施加的压力判断是否水平。
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