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长鑫存储技术有限公司金星获国家专利权

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龙图腾网获悉长鑫存储技术有限公司申请的专利位线结构、半导体结构及位线结构的制作方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113571521B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2023-09-26发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110844690.9,技术领域涉及:H10B12/00;该发明授权位线结构、半导体结构及位线结构的制作方法是由金星设计研发完成,并于2021-07-26向国家知识产权局提交的专利申请。

位线结构、半导体结构及位线结构的制作方法在说明书摘要公布了:本公开提供一种位线结构、半导体结构及位线结构的制作方法,所述位线结构设置于衬底,所述位线结构包括:接触部,其底面与所述衬底连接;阻挡层,其包括延伸部,所述延伸部覆盖所述接触部的顶面和外侧壁面;导电层,覆盖部分所述阻挡层。在本公开中,位线结构的阻挡层覆盖接触部的顶面和外侧壁面,阻挡层保护接触部的侧壁不被氧化,减小了位线的接触电阻,能够增加器件的读取速度。

本发明授权位线结构、半导体结构及位线结构的制作方法在权利要求书中公布了:1.一种位线结构,设置于衬底,其特征在于,所述位线结构包括:接触部,其包括第一部分和第二部分,所述第一部分位于所述衬底内部,所述第二部分位于所述衬底的上方;阻挡层,其包括延伸部和主体部,所述延伸部覆盖所述接触部的顶面和外侧壁面;导电层,覆盖所述主体部,以及所述延伸部的部分表面;其中,所述接触部的第二部分贯穿所述主体部并延伸至所述导电层内。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人长鑫存储技术有限公司,其通讯地址为:230000 安徽省合肥市经济技术开发区空港工业园兴业大道388号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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