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恭喜清华大学;鸿富锦精密工业(深圳)有限公司张科获国家专利权

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龙图腾网恭喜清华大学;鸿富锦精密工业(深圳)有限公司申请的专利电子束检测装置及检测方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114646996B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-06发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202011497817.6,技术领域涉及:G01T1/29;该发明授权电子束检测装置及检测方法是由张科;陈果;柳鹏;姜开利;范守善设计研发完成,并于2020-12-17向国家知识产权局提交的专利申请。

电子束检测装置及检测方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种电子束检测装置,包括:一多孔碳材料层,所述多孔碳材料层具有一通孔,该多孔碳材料层由多个碳材料颗粒组成,该多个碳材料颗粒之间存在纳米级或微米级间隙,且该通孔的横截面积小于等于待测电子束的横截面积;一法拉第杯,该法拉第杯设置于所述多孔碳材料层下面,该法拉第杯具有一开口,该开口与所述碳纳米管多孔层的通孔贯通设置;以及一图像显示器,该图像显示器与所述多孔碳材料层电连接,该图像显示器根据多孔碳材料层中产生的电荷多少形成颜色不同的图像,根据图像显示器中图像的颜色得到待测电子束的图像。本发明还提供一种电子束的检测方法。

本发明授权电子束检测装置及检测方法在权利要求书中公布了:1.一种电子束检测装置,包括:一多孔碳材料层,所述多孔碳材料层具有一通孔贯穿其厚度方向,该通孔的横截面积小于等于待测电子束的横截面积,该多孔碳材料层由多个碳材料颗粒组成,该多个碳材料颗粒之间存在纳米级或微米级间隙;一法拉第杯,该法拉第杯设置于所述多孔碳材料层下方,该法拉第杯具有一开口,该开口与所述多孔碳材料层的通孔贯通设置;以及一图像显示器,该图像显示器与所述多孔碳材料层电连接,该图像显示器根据多孔碳材料层中产生的电荷多少形成颜色不同的图像,根据图像显示器中图像的颜色得到待测电子束的图像。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人清华大学;鸿富锦精密工业(深圳)有限公司,其通讯地址为:100084 北京市海淀区清华大学清华-富士康纳米科技研究中心401室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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