恭喜朗姆研究公司拉詹·阿罗拉获国家专利权
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龙图腾网恭喜朗姆研究公司申请的专利集成晶片翘曲测量获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113330543B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080010882.3，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权集成晶片翘曲测量是由拉詹·阿罗拉;迈克尔·苏扎;韦恩·邓;亚辛·卡布兹;冯烨设计研发完成，并于2020-01-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本集成晶片翘曲测量在说明书摘要公布了：在一些示例中，一种晶片翘曲测量系统，其包括测量单元，该测量单元包括：晶片支撑组件，其用于将旋转运动传递给被支撑在所述测量单元中的被测晶片；光学传感器；用于校准所述光学传感器的校准标准件；线性平台致动器，其用于将线性运动方向传递给所述光学传感器；晶片居中传感器，其用于确定被支撑在所述测量单元中的所述被测晶片的居中；以及晶片对准传感器，其用于确定支撑在所述测量单元中的所述被测晶片的对准。
本发明授权集成晶片翘曲测量在权利要求书中公布了：1.一种晶片翘曲测量系统，其包括：测量单元，其包括：晶片支撑组件，其用于将旋转运动传递给被支撑在所述测量单元中的被测晶片；光学传感器；用于校准所述光学传感器的校准标准件；线性平台致动器，其用于将线性运动方向传递给所述光学传感器；晶片居中传感器，其用于确定被支撑在所述测量单元中的所述被测晶片的居中；以及晶片对准传感器，其用于确定支撑在所述测量单元中的所述被测晶片的对准。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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