恭喜芯蓥智铖(重庆)科技有限公司徐维哲获国家专利权
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龙图腾网恭喜芯蓥智铖(重庆)科技有限公司申请的专利一种半导体产品搬运设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119833456B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-16发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510300106.1,技术领域涉及:H01L21/677;该发明授权一种半导体产品搬运设备是由徐维哲;李坤明设计研发完成,并于2025-03-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体产品搬运设备在说明书摘要公布了:本申请公开了一种半导体产品搬运设备,涉及半导体检测领域,包括机箱,机箱一侧设置有进出料机构,机箱另一侧开设有检测口,机箱内设置有机械臂,机箱内设置有移动机构,机箱内设置有晶圆寻边机构,机箱内设置有方片寻边机构。本申请利用晶圆寻边机构和方片寻边机构,移动机构带动机械臂移动至进出料机构处,机械臂抓取一个晶圆或液晶方片,并将晶圆放置在晶圆寻边机构上,将液晶方片放置在方片寻边机构上,晶圆和液晶方片完成寻边后,机械臂再将晶圆或液晶方片输送至检测口内,检测机构对晶圆或液晶方片进行检测,一个搬运设备能够同时对晶圆或液晶方片进行搬运,从而降低了晶圆和液晶方片的生产成本。
本发明授权一种半导体产品搬运设备在权利要求书中公布了:1.一种半导体产品搬运设备,其特征在于:包括机箱1,所述机箱1的一侧设置有两个进出料机构2,所述机箱1的另一侧开设有检测口3,所述机箱1内设置有机械臂4,所述机箱1内设置有用于带动机械臂4在进出料机构2和检测口3之间往复平移的移动机构5,所述机箱1内设置有晶圆寻边机构6,所述机箱1内设置有方片寻边机构7,所述晶圆寻边机构6和方片寻边机构7均位于进出料机构2和检测口3之间;所述机械臂4包括安装座41、升降柱42、第一转臂43、第二转臂44、第三转臂45和托架46,所述安装座41设置在移动机构5的移动端,所述升降柱42升降设置在安装座41内,所述第一转臂43转动设置在升降柱42的顶端,所述第二转臂44转动设置在第一转臂43远离升降柱42的一端,所述第三转臂45转动设置在第二转臂44远离第一转臂43的一端,所述托架46固定设置在第三转臂45远离第二转臂44的一端;所述第三转臂45内固定设置有第一驱动件13,所述第一驱动件13的驱动端设置有滑板14,所述滑板14滑动设置在托架46上,所述滑板14上设置有第二驱动件15,所述第二驱动件15的驱动端设置有推板16,所述推板16滑动设置在托架46上,所述托架46远离第三转臂45的一端以及推板16上均设置有两个限位件17,四个所述限位件17对晶圆进行抵接限位,所述滑板14上沿垂直自身移动方向间隔开设有两个滑槽18,所述滑板14位于滑槽18内滑动设置有滑块19,两个所述滑块19上均转动设置有转杆20,所述滑块19上设置有用于驱动转杆20转动的转动件21,所述转杆20远离滑块19的一端设置有限位杆22,四个所述限位件17和两个限位杆22对液晶方片的四边进行抵接限位,所述托架46的顶壁上沿自身宽度方向对称倾斜开设有导向槽23,两个所述导向槽23靠近第三转臂45的一端朝相互远离方向倾斜,所述滑块19的底壁上固定设置有导向块24,所述导向块24沿导向槽23的倾斜方向滑动设置在导向槽23内。
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