恭喜芯蓥智铖(重庆)科技有限公司徐维哲获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!
龙图腾网恭喜芯蓥智铖(重庆)科技有限公司申请的专利一种半导体产品检测设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119812066B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-16发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510294659.0,技术领域涉及:H01L21/67;该发明授权一种半导体产品检测设备是由徐维哲;刘意;杨靖;王鹏设计研发完成,并于2025-03-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体产品检测设备在说明书摘要公布了:本申请公开了一种半导体产品检测设备,涉及半导体检测领域,其包括箱体,箱体上设置有进料机构和出料机构,箱体内设置有移动机构,移动机构上设置有机械臂,箱体内设置有置物架,置物架上设置有方片寻边机和晶圆寻边机,箱体上设置有多个检测机构,箱体侧壁上开设有多个检测口。本申请利用移动机构带动机械臂移动,机械臂将晶圆和液晶方片分别搬运至晶圆寻边机和方片寻边机上进行寻边,晶圆寻边机和方片寻边机同时进行寻边,再将寻边后的晶圆和液晶方片通过检测口搬运至不同的检测机构内,多个检测机构同时对晶圆和液晶方片进行检测,使得检测设备兼容了晶圆与液晶方片的搬运、寻边与检测并提高了晶圆和液晶方片的检测效率。
本发明授权一种半导体产品检测设备在权利要求书中公布了:1.一种半导体产品检测设备,其特征在于:包括箱体1,所述箱体1宽度方向的一侧壁上间隔设置有进料机构3和出料机构4,所述箱体1内设置有移动机构7,所述移动机构7的移动端上设置有机械臂8,所述移动机构7带动机械臂8沿箱体1的长度方向往复移动,所述箱体1内长度方向的一端设置有置物架9,所述置物架9上设置有方片寻边机11和晶圆寻边机10,所述箱体1宽度方向的另一侧壁上设置有多个检测机构18,所述箱体1侧壁上位于每个检测机构18处均开设有检测口;所述机械臂8包括移动箱81、升降柱82、第一转臂83、第二转臂84、第三转臂85和托架86,所述移动箱81设置在移动机构7的移动端,所述升降柱82滑动设置在移动箱81内,所述第一转臂83转动设置在升降柱82的顶端,所述第二转臂84转动设置在第一转臂83上,所述第三转臂85转动设置在第二转臂84上,所述托架86固定设置在第三转臂85上,所述托架86用于托起晶圆或液晶方片,所述托架86上设置有用于支撑晶圆或液晶方片的垫片19;所述第三转臂85的侧壁上转动设置有旋转座20,所述第三转臂85内设置有用于带动旋转座20转动的旋转件21,所述托架86固定设置在旋转座20的侧壁上,所述托架86上滑动设置有移动座22,所述旋转座20上设置有用于带动移动座22往复移动的第一驱动件23,所述移动座22上设置有第二驱动件24,所述第二驱动件24的驱动端设置有移动板25,所述移动板25以及托架86上均设置有两个限位盘26,四个所述限位盘26抵接夹持晶圆或液晶方片;所述限位盘26包括杆体261、连接环262和盘体263,四个所述杆体261分别固定设置在移动板25和托架86上,所述连接环262固定设置在杆体261上,所述盘体263与连接环262固定连接并位于杆体261的端部,且所述盘体263的直径大于连接环262的直径。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人芯蓥智铖(重庆)科技有限公司,其通讯地址为:400000 重庆市大渡口区跳磴镇海康路106号1号楼801;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。