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龙图腾网恭喜武汉工程大学申请的专利一种适用于刻蚀机零部件的Y₂O₃-BZO复合涂层的制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119663213B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510183071.8，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权一种适用于刻蚀机零部件的Y₂O₃-BZO复合涂层的制备方法是由赵洪阳;王世奥;周焱文;杨思捷;付秋明;陶洪;马志斌设计研发完成，并于2025-02-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种适用于刻蚀机零部件的Y₂O₃-BZO复合涂层的制备方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种适用于刻蚀机零部件的Y2O3‑BZO复合涂层的制备方法，包括以下步骤：S1、取衬底进行清洗，吹干，UV光清洗机二次清洁；S2、将步骤S1中衬底置于磁控溅射镀膜机内，边抽真空边加热，达到本底真空后通入氩气，对Y2O3和BZO靶材进行预溅射；S3、预溅射完成后打开挡板，调节腔体气压，正式溅射开始，正式溅射采用交替溅射形式分别对Y2O3和BZO靶材进行溅射形成堆叠复合涂层，溅射完毕后取出衬底；S4、将步骤S3中的衬底进行真空退火，自然降温，即得Y2O3‑BZO堆叠复合涂层。改复合涂层采取交替溅射形式形成堆叠复合涂层，具备良好的耐刻蚀性能，能大幅提高刻蚀机的使用寿命，减少对晶圆造成的污染。

本发明授权一种适用于刻蚀机零部件的Y₂O₃-BZO复合涂层的制备方法在权利要求书中公布了：1.一种适用于刻蚀机零部件的Y2O3-BZO复合涂层的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、取衬底进行清洗，吹干，UV光清洗机二次清洁；S2、将步骤S1中衬底置于磁控溅射镀膜机内，边抽真空边加热，达到本底真空后通入氩气，对Y2O3和BZO靶材进行预溅射；S3、预溅射完成后打开挡板，调节腔体气压，正式溅射开始，正式溅射采用交替溅射形式分别对Y2O3和BZO靶材进行溅射形成堆叠复合涂层，溅射完毕后取出衬底；S4、将步骤S3中的衬底进行真空退火，自然降温，即得Y2O3-BZO堆叠复合涂层；步骤S2中预溅射时Y2O3靶材的溅射功率为160~200W，BZO靶材的溅射功率为40~80W；预溅射时间为5~15min；步骤S3中正式溅射时腔体气压为0.2~0.6Pa，正式溅射功率与预溅射相同，正式溅射总时间为200~300min；堆叠复合涂层层数为4~24层，厚度为400~600nm。

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