恭喜韦崔斯股份有限公司罗曼·弗朗茨·维泽尔获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网恭喜韦崔斯股份有限公司申请的专利真空夹持装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113826190B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080035033.3，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权真空夹持装置是由罗曼·弗朗茨·维泽尔设计研发完成，并于2020-05-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本真空夹持装置在说明书摘要公布了：一种真空夹持装置，其用于夹紧工件，特别地用于夹紧诸如晶圆等平面基材，包括具有吸附表面的底板，其中在底板的吸附表面中设计有多个吸附开口，其中底板可通过至少一个抽吸管道，与至少一个负压装置相连，其特征在于，吸附开口被布置在底板的吸附表面的边沿区域中。
本发明授权真空夹持装置在权利要求书中公布了：1.一种真空夹持装置，所述真空夹持装置用于夹紧工件，所述工件是平面基材，所述真空夹持装置包括具有吸附表面（4）的底板（3），其中在所述底板（3）的吸附表面（4）中设计有多个吸附开口（6），其中所述底板（3）能通过至少一个抽吸管道与至少一个负压装置相连，其特征在于，所述吸附开口（6）被布置在所述底板（3）的吸附表面（4）的边沿区域中，并且所述真空夹持装置具有被布置在所述底板（3）与待夹紧的所述工件之间的、透明的且设计为易弯曲的薄膜（14），所述薄膜在所述工件的边沿范围内具有吸附洞孔。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人韦崔斯股份有限公司，其通讯地址为：捷克霍沃科维斯市；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号