恭喜朗姆研究公司约翰·福尔登·斯顿夫获国家专利权
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龙图腾网恭喜朗姆研究公司申请的专利用于气体输送的模块部件系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113994460B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080043581.0，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权用于气体输送的模块部件系统是由约翰·福尔登·斯顿夫;达米安·隆;中岛诺曼;卡尔·弗雷德里克·利瑟设计研发完成，并于2020-04-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于气体输送的模块部件系统在说明书摘要公布了：在一实施方案中，所公开的设备是用于气体输送箱中的至少一个气体基元基板。所述至少一个气体基元基板中的每一者具有至少一个位置，气体输送部件将安装在所述至少一个位置上。所述至少一个位置具有形成于所述气体基元基板的主体中的至少一个气体输送部件入口端口和气体输送部件出口端口。包含气流路径的至少一对第一镗孔分别形成在所述气体输送部件的位置的上游侧和下游侧。公开了其他设备和系统。
本发明授权用于气体输送的模块部件系统在权利要求书中公布了：1.用于气体输送箱中的至少一个气体基元基板，所述至少一个气体基元基板中的每一者包含：至少一个位置，气体输送部件将安装在所述至少一个位置上，所述至少一个位置包含形成于所述气体基元基板的主体中的至少一个气体输送部件入口端口和气体输送部件出口端口；以及包含气流路径的至少一对第一镗孔，其分别形成在所述气体输送部件的位置的上游侧和下游侧,其中所述至少一对第一镗孔至少部分地布置在与其他镗孔的横剖面分离的横剖面中，两个横剖面都布置在所述气体基元基板的主体中。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人朗姆研究公司，其通讯地址为：美国加利福尼亚州；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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