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恭喜极光先进雷射株式会社藤卷洋介获国家专利权

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龙图腾网恭喜极光先进雷射株式会社申请的专利窄带化气体激光装置、其控制方法和电子器件的制造方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115039299B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202080095270.9,技术领域涉及:H01S3/134;该发明授权窄带化气体激光装置、其控制方法和电子器件的制造方法是由藤卷洋介设计研发完成,并于2020-03-19向国家知识产权局提交的专利申请。

窄带化气体激光装置、其控制方法和电子器件的制造方法在说明书摘要公布了:一种窄带化气体激光装置的控制方法,该窄带化气体激光装置输出包含第1波长成分和第2波长成分的脉冲激光,其中,窄带化气体激光装置具有:激光腔,其包含一对电极;光谐振器,其包含调整机构,调整机构对第1波长成分与第2波长成分的能量比率的参数进行调整;以及处理器,其存储有关系数据,关系数据表示能量比率的参数相对于调整机构的控制参数的关系,控制方法包含以下步骤:从外部装置接收能量比率的参数的指令值;以及根据关系数据取得与指令值对应的控制参数的值,根据控制参数的值对调整机构进行控制。

本发明授权窄带化气体激光装置、其控制方法和电子器件的制造方法在权利要求书中公布了:1.一种控制方法,所述控制方法是窄带化气体激光装置的控制方法,所述窄带化气体激光装置输出包含第1波长成分和第2波长成分的脉冲激光,其中,所述窄带化气体激光装置具有:激光腔,其包含一对电极;光谐振器,其包含调整机构,所述调整机构是线性台,所述线性台通过移动平行平面基板来调整光束的入射到第1光栅的第1部分与所述光束的入射到第2光栅的第2部分之间的比率,从而对所述第1波长成分与所述第2波长成分的能量比率的参数进行调整;以及处理器,其存储有关系数据,所述关系数据表示所述能量比率的参数相对于所述调整机构的控制参数的关系,所述控制方法包含以下步骤:从外部装置接收所述能量比率的参数的指令值;以及根据所述关系数据取得与所述指令值对应的所述控制参数的值,根据所述控制参数的值对所述调整机构进行控制。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人极光先进雷射株式会社,其通讯地址为:日本栃木县;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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