安徽华鑫微纳集成电路有限公司唐红跃获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽华鑫微纳集成电路有限公司申请的专利一种用于大束流离子注入机的吸出电极获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119786332B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411854058.2，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权一种用于大束流离子注入机的吸出电极是由唐红跃;李克涛;张瑞朋设计研发完成，并于2024-12-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于大束流离子注入机的吸出电极在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体工艺设备技术领域，公开了一种用于大束流离子注入机的吸出电极，包括地极金属板和抑制极金属板以及设置在所述地极金属板和抑制极金属板之间的绝缘子，地极金属板上设有地极屏蔽筒，抑制极金属板上设有抑制极屏蔽筒，地极屏蔽筒和所述抑制极屏蔽筒均套设在所述绝缘子外；所述地极屏蔽筒的一端具有封闭所述地极屏蔽筒的第一端板；所述抑制极屏蔽筒的一端具有封闭所述抑制极屏蔽筒的第二端板；所述绝缘子位于所述第一端板和所述第二端板之间。本发明中，实现对绝缘子的双层包覆，不仅有效地消除了来自屏蔽筒外部空间的导电污染物附着到绝缘子表面的可能性，同时还消除了来自于屏蔽筒本身所产生的导电污染物对绝缘子的不利影响。
本发明授权一种用于大束流离子注入机的吸出电极在权利要求书中公布了：1.一种用于大束流离子注入机的吸出电极，包括地极金属板1和抑制极金属板2以及设置在所述地极金属板1和抑制极金属板2之间的绝缘子3，其特征在于，所述地极金属板1上设有地极屏蔽筒4，所述抑制极金属板2上设有抑制极屏蔽筒5，所述地极屏蔽筒4和所述抑制极屏蔽筒5均套设在所述绝缘子3外；所述地极屏蔽筒4的一端具有封闭所述地极屏蔽筒4的第一端板40；所述抑制极屏蔽筒5的一端具有封闭所述抑制极屏蔽筒5的第二端板50；所述绝缘子3位于所述第一端板40和所述第二端板50之间。
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