江西五阳新材料有限公司肖伟丰获国家专利权
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龙图腾网获悉江西五阳新材料有限公司申请的专利一种DBC陶瓷覆铜板及其制备工艺获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119233549B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411410840.5,技术领域涉及:H05K3/38;该发明授权一种DBC陶瓷覆铜板及其制备工艺是由肖伟丰;黄涛设计研发完成,并于2024-10-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种DBC陶瓷覆铜板及其制备工艺在说明书摘要公布了:本发明涉及电子封装技术领域,具体地说是一种DBC陶瓷覆铜板及其制备工艺。一种DBC陶瓷覆铜板的制备工艺,包括以下步骤:高热稳定性导热铜板的制备;陶瓷基板脉冲激光沉积CuO过渡层;高热稳定性导热铜板与镀CuO过渡层陶瓷基板的复合。本发明通过在对清洁陶瓷基板进行CuO脉冲激光沉积镀膜的过程中通入氧气等离子体,不仅能够有效去除CuO纳米颗粒表面的有机杂质,增强其表面活性,降低非氧化物陶瓷与金属的润湿角并提升附着力,并且氧气等离子体的高能量可以促进CuO纳米颗粒的表面重排和结晶,形成更有序的晶体结构,使制得的镀CuO过渡层陶瓷基板能够更好地与高热稳定性导热铜板进行结合,从而提高DBC陶瓷覆铜板的剥离强度及导热能力。
本发明授权一种DBC陶瓷覆铜板及其制备工艺在权利要求书中公布了:1.一种DBC陶瓷覆铜板的制备工艺,其特征在于,包括以下步骤:S1:高热稳定性导热铜板的制备S1.1:将2-3份纳米石墨烯浸没在浓度为60-70%的氟钛酸溶液中,然后利用超声波发生器以25-30kHz的频率进行8-10分钟的超声处理,然后再浸没在浓度为0.1-0.2molL的2-羟乙二胺四乙酸溶液中,加入10-15wt%的三乙氧基硅烷,加热至45-60℃,然后再进行3-4小时的磁力搅拌,过滤后干燥,得到改性纳米石墨烯;S1.2:将NaBH4和乙醇溶液以1:(45-50)的质量比混合置于0-4℃的冰水浴中,再利用超声波发生器超声10-15分钟,得到NaBH4溶液,将CuCl2、改性纳米石墨烯和乙醇溶液以1:(0.8-1.2):(60-80)的质量比混合置于容器中,加入0.5-0.8wt%的聚乙烯吡咯烷酮后持续通入10-15分钟氮气,然后再置于0-4℃的冰水浴中超声10-15分钟,密封容器通过导管滴加25-30wt%的NaBH4溶液,边滴加边快速搅拌,当NaBH4溶液滴加完成后继续置于0-4℃的冰水浴中静置45-50分钟,然后利用离心机以10000-12000rpm的转速离心5-6分钟,过滤后用浸没在乙醇溶液中搅拌6-8分钟,然后再进行离心过滤,重复2-3次后置于干燥箱中以60-65℃的温度干燥4-6小时,得到覆铜石墨烯纳米颗粒;S1.3:将覆铜石墨烯纳米颗粒与无氧纯铜粉以1:(10-12)的质量比混合均匀装入模具中以300-500Mpa的冷等静压压制成形,再放入真空烧结炉中进行烧结,得到石墨烯-铜铸锭,然后依次进行水平连铸、退火、铣面除氧化层、轧制和脱脂清洗,得到高热稳定性导热铜板;S2:陶瓷基板脉冲激光沉积CuO过渡层S2.1:将醋酸铜和乙醇溶液以1:(40-50)的质量比混合置于容器中,调节溶液pH为10-12,然后密封容器振荡20-30分钟,过滤后依次用去离子水和无水乙醇洗涤2-3次,然后置于真空干燥箱中以60-65℃的温度干燥6-8小时,得到CuO纳米颗粒;S2.2:对陶瓷基板用去离子水冲洗2-3遍,然后浸没在丙酮溶液中进行超声清洗15-20分钟,再浸没在浓度为5-6%的氢氟酸溶液中进行超声清洗5-6分钟,再浸没于去离子水中超声清洗8-10分钟后放入干燥箱中,调节温度为100-120℃干燥10-15分钟,得到清洁陶瓷基板;S2.3:将氧气通入射频等离子体发生器的气体腔室中,气体腔室装有电热喷嘴,电热喷嘴接入脉冲激光沉积系统的沉积室中,首先关闭电热喷嘴阀门,设置射频等离子体发生器功率为300-500W,射频频率为13-14MHz,同时将清洁陶瓷基板作为衬底,纯度为99%以上的CuO纳米颗粒作为靶材输送至在脉冲激光沉积系统的沉积室中,调节衬底和靶材距离为6-8cm,将沉积室压力预抽至1×10-4-2×10-4Pa并设置激光参数为180-200mJPlus,激光密度为4-5Jcm2,先打开等离子体发生器,持续生成氧气等离子体,再加热电热喷嘴温度为400-450℃,沉积室温度为500-550℃,然后打开电热喷嘴阀门,控制氧气等离子体通入流速为15-20sccm,控制脉冲激光沉积系统的沉积频率为5-6Hz,沉积CuO膜厚度控制在50-100μm,得到镀CuO过渡层陶瓷基板;S3:高热稳定性导热铜板与镀CuO过渡层陶瓷基板的复合S3.1:以高热稳定性导热铜板-镀CuO过渡层陶瓷基板-高热稳定性导热铜板的三明治结构方式进行覆铜板装配,使用石英板对上下进行夹持,压力调节为5×10-3-7×10-3MPa,得到预装配覆铜板;S3.2:将预装配覆铜板置于真空炉中进行钎焊,调节真空炉内真空度为10-4-5×10-4Pa,然后先以5-6℃min的升温速率升温至800-850℃,保温25-30分钟,然后再以2-3℃min的升温速率升温至920-950℃,然后随炉冷却至室温,得到DBC陶瓷覆铜板。
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