恭喜英飞凌科技股份有限公司E.菲尔古特获国家专利权
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龙图腾网恭喜英飞凌科技股份有限公司申请的专利碳化硅器件和用于形成碳化硅器件的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN110676322B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201910594477.X,技术领域涉及:H10D30/60;该发明授权碳化硅器件和用于形成碳化硅器件的方法是由E.菲尔古特;R.K.约希;R.西米尼克;T.巴斯勒;M.格鲁贝尔;J.希尔森贝克;D.彼得斯;R.鲁普;W.肖尔茨设计研发完成,并于2019-07-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本碳化硅器件和用于形成碳化硅器件的方法在说明书摘要公布了:本发明涉及碳化硅器件和用于形成碳化硅器件的方法。一种碳化硅器件,包括碳化硅衬底;包括镍、硅和铝的接触层;包括钛和钨的阻挡层结构;包含铜的金属化层。接触层位于碳化硅衬底上。接触层位于碳化硅衬底和阻挡层结构的至少一部分之间。阻挡层结构位于碳化硅衬底和金属化层之间。
本发明授权碳化硅器件和用于形成碳化硅器件的方法在权利要求书中公布了:1.一种碳化硅器件100;200;300a;300b;600a;600b,包括:碳化硅衬底102;接触层104,包括镍、硅和铝,其中接触层104位于碳化硅衬底102上;包括钛和钨的阻挡层结构106,其中接触层104位于碳化硅衬底102和阻挡层结构106的至少一部分之间;和包括铜的金属化层108,其中阻挡层结构106位于碳化硅衬底102和金属化层108之间,其中金属化层被配置为碳化硅器件的接触焊盘。
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