深圳市亿图视觉自动化技术有限公司谢煜获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市亿图视觉自动化技术有限公司申请的专利芯片表面缺陷的检测方法、装置及计算机可读存储介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114693626B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210296614.3,技术领域涉及:G06T7/00;该发明授权芯片表面缺陷的检测方法、装置及计算机可读存储介质是由谢煜;何岗设计研发完成,并于2022-03-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本芯片表面缺陷的检测方法、装置及计算机可读存储介质在说明书摘要公布了:本申请适用于芯片检测技术领域,提供了一种芯片表面缺陷的检测方法、装置及计算机可读存储介质。该方法通过获取待检测芯片的多个原始图像,并确定原始图像的第一清晰度;以及确定原始图像的边缘区域,并确定边缘区域的第二清晰度;且根据第一清晰度和第二清晰度确定第三清晰度,从而从多个原始图像中确定第三清晰度较高的待处理图像,由于第三清晰度综合了第一清晰度和第二清晰度,因此第三清晰度高的待处理图像中边缘区域和原始图像均清晰。后续根据待处理图像确定的目标图像中边缘区域的裂痕也比较明显,因此对目标图像检测时容易检测到边缘区域的裂痕,防止漏检。
本发明授权芯片表面缺陷的检测方法、装置及计算机可读存储介质在权利要求书中公布了:1.一种芯片表面缺陷的检测方法,其特征在于,包括:获取待检测芯片的多个原始图像,并确定所述原始图像的第一清晰度;确定所述原始图像的边缘区域,并确定所述边缘区域的第二清晰度;采用加权求平均值的方式根据所述第一清晰度和所述第二清晰度确定所述原始图像的第三清晰度;基于所述第三清晰度,从多个所述原始图像中确定出N个待处理图像;任意一个所述待处理图像的清晰度均高于其他原始图像的清晰度,所述其他原始图像为所述多个原始图像中除所述待处理图像之外的原始图像,N为正整数;根据所述N个待处理图像确定目标图像,并基于所述目标图像检测所述待检测芯片的表面缺陷;所述根据所述N个待处理图像确定目标图像,包括:当N=1时,将所述待处理图像确定为目标图像;当N>1时,根据所述待处理图像的像素值、所述待处理图像的边缘区域的位置参数以及所述待处理图像的权值,计算所述目标图像的像素值,根据所述目标图像的像素值生成所述目标图像,具体通过以下公式计算: ;其中,D为目标图像的像素值,为第i个待处理图像的像素值、为第i个待处理图像的边缘区域的位置参数,为预先设定的第i个待处理图像的权值;所述获取待检测芯片的多个原始图像,包括:获取镜头距离表面第一距离时拍摄到的第一原始图像;所述镜头距离所述表面第一距离时,所述镜头的焦平面在所述表面与所述镜头之间;获取镜头距离表面第二距离时拍摄到的第二原始图像;所述镜头距离所述表面第二距离时,所述表面在所述镜头的焦平面与所述镜头之间;获取镜头距离表面第三距离时拍摄到的第三原始图像;所述镜头距离所述表面第三距离时,镜头的焦平面与所述表面重合。
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