细美事有限公司刘载贤获国家专利权
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龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利基板处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114664690B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111498057.5，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权基板处理装置是由刘载贤;张硕元;李栽;尹奎相设计研发完成，并于2021-12-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种基板处理装置。基板处理装置包括：液体供应单元，其用于向基板上供应发光源和或处理液；和电压施加单元，其用于向被供应所述发光源的基板施加电压。
本发明授权基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，所述基板处理装置包括：液体供应单元，所述液体供应单元用于向基板上供应包含发光源的处理液；电压施加单元，所述电压施加单元用于向被供应所述发光源的所述基板施加电压；工作台单元，所述工作台单元用于向基板的下面喷射气体以使所述基板浮起；夹持单元，所述夹持单元用于夹持浮动的所述基板以使所述基板在所述工作台单元上移动、并且具有用于通过真空吸附在所述基板的底部边缘处夹持浮动的所述基板的夹具，其中，所述夹具包括用于吸附所述基板的所述底部边缘的吸附部；其中，所述电压施加单元安装在所述夹持单元上并与所述夹持单元一起移动；其中，所述电压施加单元包括：电压施加部件，所述电压施加部件设置为与被供应所述发光源的所述基板的电极电接触，与电源连接以向被供应所述发光源的所述电极施加电压；电压释放部件，所述电压释放部件设置为与被供应所述发光源的所述基板的电极电接触，释放供应至被供应所述发光源的所述基板的所述电极的电压；其中，所述电压施加部件和所述电压释放部件包括与所述基板接触以向所述基板施加电压的至少一个导电销，所述导电销位于与所述夹持单元的所述夹具的所述吸附部相对的位置处。
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