苏试宜特(上海)检测技术股份有限公司蔡齐航获国家专利权
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龙图腾网获悉苏试宜特(上海)检测技术股份有限公司申请的专利用于平面样品上形成定位标记的辅助装置及其使用方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111463159B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010396221.0，技术领域涉及：H01L21/68；该发明授权用于平面样品上形成定位标记的辅助装置及其使用方法是由蔡齐航;谢亚珍;余维松设计研发完成，并于2020-05-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于平面样品上形成定位标记的辅助装置及其使用方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种用于平面样品上形成定位标记的辅助装置及其使用方法，包括：相对设置且供夹住平面样品的第一固定板和第二固定板，且该第一固定板和第二固定板可拆卸地连接，该第一固定板的一侧间隔开设有若干条形孔；对第一固定板进行喷金，以透过条形孔于平面样品的表面形成定位标记线。本发明有效地解决了缺陷定位困难的问题，能够提升缺陷的定位精度，大大减少误认或盲切的状况发生，保证后续的检测精度，且本装置结构简单，便于实现。
本发明授权用于平面样品上形成定位标记的辅助装置及其使用方法在权利要求书中公布了：1.一种用于平面样品上形成定位标记的辅助装置，用于在平面样品的表面形成定位标记线，根据所述定位标记线确定缺陷所在位置，以方便在扫描透镜下精准定位，其特征在于，所述辅助装置包括：相对设置且供夹住所述平面样品的第一固定板和第二固定板，且所述第一固定板和所述第二固定板可拆卸地连接，所述第一固定板的一侧间隔开设有若干条形孔；所述条形孔间隔设置有六条，相邻的两条所述条形孔的长度不同；对所述第一固定板进行喷金，以透过所述条形孔于所述平面样品的表面形成定位标记线。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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