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龙图腾网获悉安徽天兵电子科技股份有限公司申请的专利一种晶圆测试装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116013799B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211558643.9，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权一种晶圆测试装置是由蔡昱;陈在;江川;张东响设计研发完成，并于2022-12-06向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆测试装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆测试装置，包括工作台、测距机构、测厚机构以及吸附机构，工作台的表面设置有通气孔以及两个呈V型排布的圆心定位板；测距机构包括两个正对旋转设置的距离感应器；测厚机构包括动力机构、滑动安装在工作台上方的滑块和转动安装在滑块下方的安转盘，滑块水平移动的轴线与下方两个圆心定位板所呈V型的平分线上下正对平行，安转盘的底面环形阵列设置有若干导向杆，导向杆的下方通过伸缩组件连接有若干等距设置的距离感应器，动力机构能同步的驱动安装在同一伸缩组件上相邻两个距离感应器间距等距变化；吸附机构包括顶面设置吸气腔的并且连接吸气机的吸附块，吸气腔能与局部通气孔正对，本发明从整体上提高了晶圆的测试效率。

本发明授权一种晶圆测试装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆测试装置，其特征在于：包括 工作台1，所述工作台1的表面设置有两个呈V型排布的圆心定位板101，所述工作台1的表面还均布有若干通气孔102； 测距机构2，其包括正对设置并且能沿着两者连线中点在水平面旋转的第一距离感应器204和第二距离感应器205，所述第一距离感应器204和第二距离感应器205均连接着同一控制器206，所述工作台1的底面中心安装有第一电机201，所述第一电机201的转轴202上安装有转臂203，所述转轴202连接在所述转臂203的中心，所述第一距离感应器204和第二距离感应器205连接在所述转臂203的两端，并且所述第一电机201连接着所述控制器206； 测厚机构3，其包括动力机构、安装在工作台1上方的支撑板301、水平滑动安装在所述支撑板301上的滑块302以及转动安装在所述滑块302下方的安转盘319，所述滑块302水平移动的轴线与下方两个所述圆心定位板101所呈V型的平分线上下正对平行，所述安转盘319的底面环形阵列设置有若干导向杆313，所述导向杆313的下方通过伸缩组件315连接有若干等距设置的第三距离感应器308，所述动力机构能同步的驱动安装在同一所述伸缩组件315上相邻两个所述第三距离感应器308间距等距变化； 吸附机构4，其包括可拆卸的吸附在所述工作台1下方的吸附块401，所述吸附块401的顶面设置有吸气腔，所述吸气腔能与局部所述通气孔102正对，所述吸气腔通过吸气管402连接着吸气机403。

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