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龙图腾网恭喜上海新阳半导体材料股份有限公司申请的专利晶圆湿制程设备用晶圆旋转甩干槽获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN110911323B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201911332461.8，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权晶圆湿制程设备用晶圆旋转甩干槽是由王振荣;刘红兵;鲁珊;方琴剑设计研发完成，并于2019-12-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆湿制程设备用晶圆旋转甩干槽在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆湿制程设备用晶圆旋转甩干槽，包括供放置晶圆的放置架机构、第一驱动机构以及第二驱动机构，所述放置架机构与第一驱动机构传动连接进而所述放置架机构整体可沿所述第一驱动机构的输出轴旋转以供甩干，所述放置架机构自身相对所述输出轴的轴向方向可调节摆转地设置，所述放置架机构与所述第二驱动机构控制连接进而通过所述第二驱动机构控制定位所述放置架机构的摆转位置。本发明所提供的晶圆湿制程设备用晶圆旋转甩干槽，其结构精巧，方便操作，通过可调节摆转的放置架实现晶圆的垂直旋转甩干以及水平旋转甩干工作。

本发明授权晶圆湿制程设备用晶圆旋转甩干槽在权利要求书中公布了：1.一种晶圆湿制程设备用晶圆旋转甩干槽，其特征在于，包括供放置晶圆的放置架机构、第一驱动机构以及第二驱动机构，所述放置架机构与第一驱动机构传动连接进而所述放置架机构整体可沿所述第一驱动机构的输出轴旋转以供甩干，所述放置架机构自身相对所述输出轴的轴向方向可调节摆转地设置，所述放置架机构与所述第二驱动机构控制连接进而通过所述第二驱动机构控制定位所述放置架机构的摆转位置， 所述放置架机构包括放置台，所述放置台上设有放置架，所述放置台下设有传动轴机构，所述传动轴机构及所述放置台设有中心通孔，所述第一驱动机构包括第一驱动电机，所述第二驱动机构包括第二驱动电机，所述放置架上设有传动连杆组件，所述放置架可相对所述中心通孔的轴向方向自由摆转， 所述放置架偏心安装于所述放置台上并可随自身重心自由摆转，所述传动连杆组件包括上下作动于所述中心通孔内的联动顶推块；当所述第二驱动电机的输出轴上升并顶撑于所述联动顶推块的上升极限位置时，所述传动连杆组件顶撑所述放置架以致所述放置架垂直于所述放置台；当所述第二驱动电机的输出轴下降并顶撑于所述联动顶推块的下降极限位置时，所述传动连杆组件放松所述放置架以致所述放置架水平于所述放置台， 包括机壳框架，所述放置架机构设于所述机壳框架内，所述机壳框架上设有加热机构、烘干机构以及吹干机构。

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