广东三石园科技有限公司王中生获国家专利权
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龙图腾网获悉广东三石园科技有限公司申请的专利一种斜率可调的反射式MEMS衰减器获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119805666B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510293186.2,技术领域涉及:G02B6/26;该发明授权一种斜率可调的反射式MEMS衰减器是由王中生;李佩慧设计研发完成,并于2025-03-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种斜率可调的反射式MEMS衰减器在说明书摘要公布了:本申请公开一种斜率可调的反射式MEMS衰减器,涉及光电子技术领域,该斜率可调的反射式MEMS衰减器的光路组成依次包括:出射光纤、平凸透镜、衍射光栅、楔角片、反射镜和接收光纤;出射光纤和接收光纤的相对位置固定;楔角片的斜面朝向衍射光栅;楔角片的斜面与垂面的相交线位于楔角片的底部;在斜率可调的反射式MEMS衰减器的光路中,出射光纤发出的光束经过平凸透镜准直后打在衍射光栅上,光束依次经过衍射光栅和楔角片后产生空间分离并达到由MEMS控制的反光镜上,经过反射镜反射的光路空间位置不同,接收光纤接收的不同波长的光分量的比例不同。本申请实现了反射式MEMS衰减器衰减斜率的动态调控。
本发明授权一种斜率可调的反射式MEMS衰减器在权利要求书中公布了:1.一种斜率可调的反射式MEMS衰减器,其特征在于,所述斜率可调的反射式MEMS衰减器包括:光纤阵列、平凸透镜、衍射光栅、楔角片和反射镜;所述光纤阵列包括一根出射光纤和一根接收光纤; 所述出射光纤和所述接收光纤的相对位置固定;所述楔角片的斜面朝向所述衍射光栅;所述楔角片的斜面与垂面的相交线位于所述楔角片的底部;所述楔角片的倾角范围为[10°,45°];所述楔角片的倾角为所述楔角片的斜面与垂面的夹角; 在所述斜率可调的反射式MEMS衰减器的光路中,所述出射光纤发出的光束经过所述平凸透镜准直后打在所述衍射光栅上,所述光束依次经过所述衍射光栅和所述楔角片后产生空间分离并达到由MEMS控制的反射镜上,经过所述反射镜反射的光路空间位置不同,所述接收光纤接收的不同波长的光分量的比例不同; 所述MEMS用于控制所述反射镜绕固定轴转动; 通过匹配设计衍射光栅的周期与楔角片的倾角参数使得插损值与波长衰减间存在二次函数关系,使得插损值IL与波长相关损耗WDL存在对应关系,通过预先标定反射镜角度、IL、dILdλ三者之间的关系,实现任意插损点处的斜率动态匹配,获得相对应的WDL值。
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