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龙图腾网获悉深圳十沣科技有限公司申请的专利一种离子能量角度分布确定方法、装置、终端及存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119763693B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510272899.0，技术领域涉及：G16C10/00；该发明授权一种离子能量角度分布确定方法、装置、终端及存储介质是由刘子剑;解青;周鑫宇;王子健;邹光喆;周洪伟;李静;王栋;丁可琦;毛峰;陈松泽设计研发完成，并于2025-03-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种离子能量角度分布确定方法、装置、终端及存储介质在说明书摘要公布了：本发明所提供的一种离子能量角度分布确定方法、装置、终端及存储介质，属于芯片制造技术领域，所述方法包括：获取并基于目标电容耦合等离子体腔室的几何参数、背景气体参数和表面材料参数，建立流体模型，求解流体模型得到电离速率时空分布和电磁场时空分布；获取离子碰撞截面数据；迭代的模拟生成离子、离子运动以及离子和背景气体分子的碰撞，直至满足结束条件，得到抵达基板离子的离子能量角度分布。本发明利用流体模型计算得到的电离速率生成新离子，避免了模拟电离过程；利用流体模型计算得到的电磁场驱动粒子运动，避免电荷密度的计算和电磁场的求解，可解决粒子与场的反复耦合问题，有效降低了确定抵达基板离子的能量角度分布的时间。

本发明授权一种离子能量角度分布确定方法、装置、终端及存储介质在权利要求书中公布了：1.一种离子能量角度分布确定方法，其特征在于，所述方法包括： 获取并基于目标电容耦合等离子体腔室的几何参数、背景气体参数和表面材料参数，利用流体仿真软件建立流体模型，求解所述流体模型得到电离速率时空分布和电磁场时空分布； 获取离子碰撞截面数据，所述离子碰撞截面数据包括离子与背景气体分子之间多种碰撞类型对应的碰撞截面值； 基于所述电磁场时空分布、所述电离速率时空分布、所述离子碰撞截面数据和所述几何参数，迭代的模拟在所述目标电容耦合等离子体腔室内生成离子、进行离子运动以及离子和背景气体分子的碰撞，直至满足结束条件，得到抵达基板离子的离子能量角度分布； 其中，所述电离速率时空分布用于反映目标电容耦合等离子体腔室内的背景气体分子，在不同空间位置及时间点下被电离生成离子的速率，所述电磁场时空分布用于反映目标电容耦合等离子体腔室内电磁场随时间和空间的变化。

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