东莞市湃泊科技有限公司;深圳市湃泊科技有限公司安屹获国家专利权
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龙图腾网获悉东莞市湃泊科技有限公司;深圳市湃泊科技有限公司申请的专利一种热沉用陶瓷基板及其制备工艺获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119419181B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510020706.2,技术领域涉及:H01L23/373;该发明授权一种热沉用陶瓷基板及其制备工艺是由安屹;陈琦;秦太梦;陈维设计研发完成,并于2025-01-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种热沉用陶瓷基板及其制备工艺在说明书摘要公布了:本申请提供一种热沉用陶瓷基板及其制备工艺,热沉用陶瓷基板包括复合AlN‑SiC陶瓷基层、沉积于复合AlN‑SiC陶瓷基层表面的TiAlN涂层,复合AlN‑SiC陶瓷基层内部设有多个盲孔,盲孔内填充有金属W;通过机械强度高的AlN‑SiC材料作为陶瓷基层,并在其内部填充金属W形成快速散热通道,而后沉积TiAlN过渡层,能使得到的热沉用陶瓷基板与金属层的结合力强,且不影响陶瓷基板的机械强度和散热性能。
本发明授权一种热沉用陶瓷基板及其制备工艺在权利要求书中公布了:1.一种热沉用陶瓷基板,其特征在于,包括复合AlN-SiC陶瓷基层、沉积于所述复合AlN-SiC陶瓷基层表面的TiAlN涂层,所述复合AlN-SiC陶瓷基层内部设有多个盲孔,所述盲孔内填充有金属W;所述金属W的热导率大于所述AlN-SiC的热导率;盲孔分布方式为阵列分布,盲孔的直径为0.15-0.2mm,相邻盲孔的间距为0.4-0.8mm,热沉用陶瓷基板的厚度为0.8-1.0mm,盲孔的深度为0.5-0.7mm。
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