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复坦希(上海)电子科技有限公司党世亮获国家专利权

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龙图腾网获悉复坦希(上海)电子科技有限公司申请的专利一种便于LED紫外灯调节的晶圆充氮解胶机获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119650465B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411758411.7,技术领域涉及:H01L21/67;该发明授权一种便于LED紫外灯调节的晶圆充氮解胶机是由党世亮;彭福云设计研发完成,并于2024-12-03向国家知识产权局提交的专利申请。

一种便于LED紫外灯调节的晶圆充氮解胶机在说明书摘要公布了:本发明公开了一种便于LED紫外灯调节的晶圆充氮解胶机,涉及晶圆解胶加工技术领域,一种便于LED紫外灯调节的晶圆充氮解胶机,包括晶圆环夹持取料机构,所述晶圆环夹持取料机构设置在安装轴上,该一种便于LED紫外灯调节的晶圆充氮解胶机,通过晶圆环夹持取料机构自动对胶粘有晶圆的晶圆环进行自动夹持上料,随后配合LED紫外灯照射调节机构对LED紫外灯进行自动调节光照距离,随后夹持上料的晶圆环进行照射解胶,当解胶完毕后,随后通过带动安装轴转动到下料机构位置,随后下料机构对解胶后晶圆环上的晶圆进行自动下料,同时对晶圆环进行自动下料,从而实现对晶圆进行自动化解胶,大大提高了对晶圆的解胶效率。

本发明授权一种便于LED紫外灯调节的晶圆充氮解胶机在权利要求书中公布了:1.一种便于LED紫外灯调节的晶圆充氮解胶机,其特征在于,包括: 安装箱主体(1)以及安装箱主体(1)内转动连接的安装轴(2),所述安装轴(2)的一端通过联轴器固定连接有与安装箱主体(1)固定连接的第一传动电机(3); 晶圆环夹持取料机构,所述晶圆环夹持取料机构设置在安装轴(2)上,所述晶圆环夹持取料机构用于对晶圆环进行自动夹持取料; LED紫外灯照射调节机构,所述LED紫外灯照射调节机构设置在安装轴(2)上,所述LED紫外灯照射调节机构用于对晶圆环上的晶圆进行照射,同时对光照进行自动调节; 下料机构,所述下料机构设置在安装箱主体(1)内,所述下料机构用于对晶圆环和晶圆进行自动下料; 所述晶圆环夹持取料机构包括与安装轴(2)固定连接的多个连接柱(11),所述连接柱(11)的一端固定连接有安装环(12),所述安装环(12)内开设有安装槽(13),所述安装槽(13)内转动连接有传动圈(14),所述传动圈(14)内通过连接块固定连接有多个第一电动伸缩杆(15),所述第一电动伸缩杆(15)的一端固定连接有夹持框(16),所述夹持框(16)内固定连接有第二电动伸缩杆(17),所述第二电动伸缩杆(17)的一端固定连接有夹持块(18); 所述传动圈(14)的一侧传动连接有与安装环(12)相连接的第一传动机构,所述第一传动机构用于带动传动圈(14)进行转动,所述安装箱主体(1)内设置有供料机构,所述供料机构用于对通过保护膜粘有的晶圆环进行自动供料。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人复坦希(上海)电子科技有限公司,其通讯地址为:201708 上海市青浦区华新镇华徐公路3029弄88号3幢;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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