汉阳大学校ERICA产学协力团赵南圭获国家专利权
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龙图腾网获悉汉阳大学校ERICA产学协力团申请的专利对象物的表面测定装置及测定方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114964126B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210628357.9,技术领域涉及:G01B21/30;该发明授权对象物的表面测定装置及测定方法是由赵南圭;金敏圭;白尚祐设计研发完成,并于2019-05-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本对象物的表面测定装置及测定方法在说明书摘要公布了:本发明揭示对象物的表面测定装置。对象物的表面测定装置包括:支撑部,用于放置测定对象物;至少3个探针,用于测定上述测定对象物的表面;以及驱动部,使上述支撑部和上述至少3个探针中的一个相对于另一个进行相对驱动。
本发明授权对象物的表面测定装置及测定方法在权利要求书中公布了:1.一种对象物的表面测定装置,包括: 支撑部,用于放置测定对象物; 至少3个探针,用于测定上述测定对象物的表面; 驱动部,以上述测定对象物的中心为轴的方式,使上述支撑部和上述至少3个探针进行相对旋转;以及, 运算部,合算上述至少3个探针接收的测定信号来生成合成信号,在上述合成信号中去除在上述相对旋转运动过程中发生的驱动误差信号和上述测定对象物的形状误差信号, 以上述测定对象物的中心为基准,上述至少3个探针位于探针之间的角度大于0度且小于180度的位置, 上述至少3个探针中的一个探针与另一个探针之间的角度与上述一个探针与其他一个探针之间的角度之比呈现为不可约分数。
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