上海芯上微装科技股份有限公司黄栋梁获国家专利权
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龙图腾网获悉上海芯上微装科技股份有限公司申请的专利一种半导体生产设备的对准系统及方法、半导体生产设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119781264B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510233590.0，技术领域涉及：G03F9/00；该发明授权一种半导体生产设备的对准系统及方法、半导体生产设备是由黄栋梁;杨博光;王鑫鑫;蔡晨;冒鹏飞设计研发完成，并于2025-02-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体生产设备的对准系统及方法、半导体生产设备在说明书摘要公布了：本发明提供了一种半导体生产设备的对准系统及方法、半导体生产设备，对准系统包括安装台、第一中心轴、第一驱动机构、以及对准模组；安装台位于XY平面上；第一中心轴沿Z方向延伸，并与安装台连接；第一驱动机构与第一中心轴连接，并用于驱使中心轴自转；对准模组包括镜头组件，镜头组件包括第二驱动机构和镜头单元，第二驱动机构设置在安装台上，并与镜头单元连接，第二驱动机构能够驱使镜头单元沿X方向和或Y方向移动；X方向、Y方向、Z方向两两垂直。利用对准系统对承载在半导体生产设备的工件台上的基板执行对准操作时，具有较高的对准效率，有效提高半导体生产设备的产能。
本发明授权一种半导体生产设备的对准系统及方法、半导体生产设备在权利要求书中公布了：1.一种半导体生产设备的对准系统，其特征在于，所述对准系统包括： 安装台，位于XY平面上； 第一中心轴，沿Z方向延伸，并与所述安装台连接； 第一驱动机构，与所述第一中心轴连接，并用于驱使所述第一中心轴自转；以及， 对准模组，所述对准模组包括镜头组件，所述镜头组件包括第二驱动机构和镜头单元，所述第二驱动机构设置在所述安装台上，并与所述镜头单元连接，所述第二驱动机构被配置为能够驱使所述镜头单元沿X方向和或Y方向移动； 所述X方向、所述Y方向、所述Z方向两两垂直； 所述半导体生产设备的对准系统被配置为通过所述第一中心轴自转、所述镜头单元沿所述X方向和或所述Y方向移动，实现对基板上的对准标记的对准操作。
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