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龙图腾网获悉安徽纯源镀膜科技有限公司申请的专利一种用于真空离子镀膜设备的冷却系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223134557U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423019034.3，技术领域涉及：C23C14/32；该实用新型一种用于真空离子镀膜设备的冷却系统是由张心凤;刘洋;陈玉梅设计研发完成，并于2024-12-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于真空离子镀膜设备的冷却系统在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种用于真空离子镀膜设备的冷却系统，包括进液分配单元、出液分配单元、换热单元、调节单元，镀膜腔室上设置有各镀膜源装置，镀膜腔室上具有A冷却腔道单元，各镀膜源装置上分别具有B冷却腔道单元，调节单元用于对流体的流速或流量进行调节，镀膜腔室上还设置有检测单元，检测单元将检测的信号输送至控制单元进行分析处理，控制单元依据分析处理的结果调控各部件的运行状态。本实用新型提供的上述技术方案，通过对水流量调控，从而精准的控制镀膜腔室的温度，可靠的排出镀膜腔室内产生的热量，防止因温度升高而破坏镀膜腔室内真空状态，保证镀膜腔室内的镀膜环境，延长镀膜设备和镀膜源装置的寿命，提高膜层的稳定性及均匀性。

本实用新型一种用于真空离子镀膜设备的冷却系统在权利要求书中公布了：1.一种用于真空离子镀膜设备的冷却系统，其特征在于：包括进液分配单元、出液分配单元和换热单元，镀膜腔室上设置有各镀膜源装置，镀膜腔室上具有用于供流体流动并用于实现对镀膜腔室进行冷却的A冷却腔道单元，各镀膜源装置上分别具有用于供流体流动并用于实现对镀膜源装置进行冷却的B冷却腔道单元；A冷却腔道单元、B冷却腔道单元、进液分配单元、回液汇集单元、换热单元组成供流体循环流动的流动通路，进液分配单元上具有各进液接头组件，各进液接头组件分别用于与A冷却腔道单元、B冷却腔道单元上的进液口相连通连接，回液汇集单元上具有各回液接头组件，各回液接头组件分别用于与A冷却腔道单元、B冷却腔道单元上的出液口相连通连接，换热单元设置在回液汇集单元和进液分配单元之间，换热单元用于降低流体的温度，流动通路上还设置有调节单元，调节单元用于对流体的流速或流量进行调节，镀膜腔室上还设置有对镀膜腔室内的温度进行检测的检测单元，检测单元将检测的信号输送至控制单元进行分析处理，控制单元依据分析处理的结果调控各部件的运行状态。

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