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买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！ 龙图腾网获悉重庆科技学院申请的专利非平衡磁控溅射电极及系统成功实施成果转化。 龙图腾网通过国家知识产权局官网在2016-08-31发布的专利公告中获悉：该专利的专利申请号/专利号为：2016105337612，技术领域属于C23C14/35(2006.01)I；该专利非平衡磁控溅射电极及系统是由重庆科技学院设计研发完成，并于2016-07-07向国家知识产权局提交的专利申请。 本发明提供一种非平衡磁控溅射电极及系统，该电极包括阳极、阴极和背板，其中阳极与阴极对应与电源的正负极连接，背板包括弧面以及位于弧面两侧的两平面，背板通过平面固定在阴极的正面上，在阴极内埋设有位于平面下方且与平面垂直的一对磁极，该对磁极中两磁极与弧面对称轴的距离相等，且极性相反，磁场强度不同。本发明通过在非平衡磁控溅射电极的阴极上只设置两个磁极，并使固定在阴极正面的背板的弧面与两个磁极形成的弧形的非平衡磁力线平行，可以使阴极表面形成一个正交的弧形电子阱，从而使阴极表面形成一个呈弧形均匀的等离子体区域，由此可以使靶材的溅射区域均匀分布，从而使得溅射速率和靶材的利用率显著提高。 龙图腾网（www.lotut.com）是知识产权全产业链服务平台，平台围绕知识产权代理、知识产权管理、商标查询、商标转让交易、专利检索、专利转让运营、科技成果转化等，通过“互联网+知识产权”的方式，整合资源与服务，为广大知识产权代理机构、科技咨询公司、律师事务所以及各类科技创新企业、科研院所、大专院校等，提供龙图腾商标专利检索分析平台、龙图腾知识产权管家、龙图腾知识产权交易平台等人工智能大数据云产品服务、知识产权服务、科技成果转移转化服务等。 如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，欢迎咨询龙图腾网官方客服，联系电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。 |
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