买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便! 龙图腾网恭喜广东省大湾区集成电路与系统应用研究院申请的专利图形边界缺陷处理方法、装置、计算机设备和存储介质成功实施成果转化。 龙图腾网通过国家知识产权局官网在2023-04-11发布的专利公告中获悉:该专利的专利申请号/专利号为:2023100560996,技术领域属于G03F1/36;该专利图形边界缺陷处理方法、装置、计算机设备和存储介质是由广东省大湾区集成电路与系统应用研究院设计研发完成,并于2023-01-18向国家知识产权局提交的专利申请。 本申请涉及半导体光刻工艺领域,特别是涉及一种图形边界缺陷处理方法包括:获取待处理图形,待处理图形包括器件单元图形及背面图形,器件单元图形内及至少部分背面图形内具有Sbar标记;选取具有Sbar标记的背面图形及与选取的背面图形临接的器件单元图形;选取的背面图形及器件单元图形位于相邻的不同图层;将选取的背面图形提至与选取的器件单元图形位于同一图层,以得到待修正图形;自所述待修正图形中筛选出与设计规则相违背的Sbar标记并进行修正。本方法可有效检查出全耗尽型绝缘体上硅FDSOI因背面层次结构引起的缺陷,在光罩制作之前就把问题解决,从而节省开发资源与时间。避免了层次结构错误而检查不出来造成晶圆上的缺陷。 龙图腾网(www.lotut.com)是知识产权全产业链服务平台,平台围绕知识产权代理、知识产权管理、商标查询、商标转让交易、专利检索、专利转让运营、科技成果转化等,通过“互联网+知识产权”的方式,整合资源与服务,为广大知识产权代理机构、科技咨询公司、律师事务所以及各类科技创新企业、科研院所、大专院校等,提供龙图腾商标专利检索分析平台、龙图腾知识产权管家、龙图腾知识产权交易平台等人工智能大数据云产品服务、知识产权服务、科技成果转移转化服务等。 法律声明:当前页面专利信息仅供研究,该信息不具备任何法律效应。实际以国家专利局为准。 如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,欢迎咨询龙图腾网官方客服,联系电话0551-65771310 或微信搜索“龙图腾网”。 龙图腾网(www.lotut.com) 是知识产权全产业链服务平台,平台围绕知识产权代理、知识产权管理、商标查询、商标转让交易、专利检索、专利转让运营、科技成果转化等, 通过“互联网+知识产权”的方式,整合资源与服务,为广大知识产权代理机构、科技咨询公司、律师事务所以及各类科技创新企业、科研院所、大专院校等,提供 龙图腾商标专利检索分析平台 、 龙图腾知识产权管家 、 龙图腾知识产权交易平台 等人工智能大数据云产品服务、知识产权服务、科技成果转移转化服务等。 法律声明:当前页面专利信息仅供研究,该信息不具备任何法律效应,实际以国家专利局为准。 如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,欢迎咨询龙图腾网官方客服,联系电话 0551-65771310 或微信搜索“龙图腾网”。 |