申请/专利权人：东京毅力科创株式会社

申请日：2020-05-13

公开（公告）日：2020-11-20

公开（公告）号：CN111968935A

主分类号：H01L21/677(20060101)

分类号：H01L21/677(20060101)

优先权：["20190520 JP 2019-094662"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2022.03.08#实质审查的生效;2020.11.20#公开

摘要：本公开提供一种基板处理装置和基板处理方法，以抑制数据量并获得高吞吐量的方式设定在基板处理装置中能够搬送基板的搬送时间表。该基板处理装置构成为具备：多个单位块；主搬送机构，其设置于单位块的各搬送线路，相互独立地在多个模块间搬送基板；搬入搬出用搬送机构，其在保存基板的承载件与所述各单位块之间交接基板，从而向各单位块搬入搬出所述基板；存储器，其存储每个单位块的过去的基板的搬送历史的数据；以及设定部，当将主搬送机构绕搬送线路一周的时间设为循环时间时，基于基板的搬送历史的数据对每个单位块更新循环时间，并基于更新后的该循环时间来设定各单位块中的所述基板的搬送时间表。

主权项：1.一种基板处理装置，其特征在于，具备：多个单位块，其分别具备多个模块和基板的搬送线路，在各单位块中从上游侧的模块向下游侧的模块按照顺序搬送所述基板并分别进行处理；主搬送机构，其设置于各个所述搬送线路，相互独立地在所述多个模块间搬送基板；搬入搬出用搬送机构，其在保存所述基板的承载件与各个所述单位块之间交接所述基板，从而向各个所述单位块搬入搬出所述基板；存储器，其存储每个所述单位块的过去的基板的搬送历史的数据；以及设定部，当将所述主搬送机构绕所述搬送线路一周的时间设为循环时间时，所述设定部基于所述基板的搬送历史的数据对每个单位块更新所述循环时间，并基于更新后的该循环时间来设定各单位块中的所述基板的搬送时间表。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 东京毅力科创株式会社 基板处理装置和基板处理方法

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