申请/专利权人：苏州英纳特纳米科技有限公司

申请日：2020-06-23

公开（公告）日：2021-02-19

公开（公告）号：CN111618294B

主分类号：B22F1/00(20060101)

分类号：B22F1/00(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.02.19#授权;2020.09.29#实质审查的生效;2020.09.04#公开

摘要：本发明公开了一种制备球形铼粉的装置和球形铼粉的制备方法，该装置包括：喂料器、送粉枪、射频等离子体发生器、球化处理室、急冷室、第一收集室、固气分离器、第二收集室、真空机组、尾气排放机构；所述喂料器的出料口连接所述送粉枪；所述送粉枪连接所述射频等离子体发生器；所述射频等离子体发生器和所述急冷室分别连接所述球化处理室，所述第一收集室连接所述急冷室；所述固气分离器通过管路连接所述球化处理室；所述第二收集室连接所述固气分离器；所述尾气排放机构通过管路连接所述固气分离器；所述真空机组设置在所述固气分离器和所述尾气排放机构之间的管路上。上述装置能够制备出组分均匀、缺陷少、流动性好、球形度好的球形铼粉。

主权项：1.一种制备球形铼粉的装置，其特征在于，包括：喂料器、送粉枪、射频等离子体发生器、球化处理室、急冷室、第一收集室、固气分离器、第二收集室、真空机组、尾气排放机构；所述喂料器的出料口连接所述送粉枪以将由惰性气体携带的金属铼原粉送入所述送粉枪；所述送粉枪连接所述射频等离子体发生器，所述送粉枪送出的金属铼原粉在所述射频等离子体发生器内经加热形成金属铼液滴；所述射频等离子体发生器和所述急冷室分别连接所述球化处理室，所述金属铼液滴经所述球化处理室进入所述急冷室并形成球形铼粉；所述第一收集室连接所述急冷室以接收球形铼粉；所述固气分离器通过管路连接所述球化处理室以接收部分球形铼粉并分离球形铼粉；所述第二收集室连接所述固气分离器以接收经所述固气分离器分离的球形铼粉；所述尾气排放机构通过管路连接所述固气分离器以排出尾气；所述真空机组设置在所述固气分离器和所述尾气排放机构之间的管路上，所述真空机组用于先将所述制备球形铼粉的装置的真空度抽至小于或等于1.0×10-4Pa，然后向所述制备球形铼粉的装置中充入惰性气体，接着对制备球形铼粉的装置抽真空并将真空度维持在1.0×104±200Pa范围内。

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权利要求：

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