申请/专利权人：住友重机械工业株式会社

申请日：2017-02-08

公开（公告）日：2021-04-13

公开（公告）号：CN108884821B

主分类号：F04B37/08(20060101)

分类号：F04B37/08(20060101);F04B37/16(20060101);F16K51/02(20060101)

优先权：["20160215 JP 2016-026251"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.04.13#授权;2018.12.18#实质审查的生效;2018.11.23#公开

摘要：本发明提供一种低温泵及闸阀。本发明的低温泵10具备：低温泵凸缘14，其安装于闸阀凸缘104；及环状挡片16，其从低温泵凸缘14朝向闸阀102而沿轴向延伸，从而与阀板106协同形成环状节流孔18。在环状挡片上表面16b与阀板106之间可以划定有环状节流孔18。

主权项：1.一种低温泵，其安装于闸阀上，该闸阀具备闸阀凸缘及阀板，所述低温泵的特征在于，具备：低温泵凸缘，其安装于所述闸阀凸缘；及环状挡片，其固定于所述低温泵凸缘，且从所述低温泵凸缘朝向所述闸阀而沿轴向延伸，从而与所述阀板协同形成环状节流孔,所述环状挡片与以与所述闸阀凸缘相邻的方式定位的情况下的所述阀板的外周部相向。

全文数据：低温泵及闸阀技术领域[0001]本发明涉及一种低温泵及闸阀。背景技术[0002]低温泵是通过冷凝或吸附将气体捕捉于冷却成超低温的低温板的真空泵。由此，低温栗对安装有该低温栗的真空腔室进行排气。在低温栗与真空腔室之间可以设置闸阀。[0003]以往技术文献[0004]专利文献[0005]专利文献1:日本专利第5444545号发明内容[0006]发明要解决的技术课题[0007]低温泵为捕集式真空栗，因此通过低温泵的真空排气运行，气体积蓄在低温泵。随着气体积蓄，低温栗的排气速度逐渐下降。因此，为了从低温栗排出所积蓄的气体以使排气速度恢复到初始水平，定期进行低温栗的再生。一次的再生结束后到进行下一次再生为止的真空排气运行期间又被称作再生间隔。进行再生时无法进行低温泵的真空排气运行，因此希望再生间隔尽可能长。[0008]低温泵的用途之一有PVD装置等真空处理装置。在真空处理装置中，可以重复执行某一真空处理。低温泵在这种装置中的主要作用是保持适于该真空处理的处理压力。[0009]所要求的处理压力并非始终恒定，根据处理工艺可以使用比较高的处理压力。提高处理压力的典型的方法为增加导入于真空腔室的处理气体流量。但是，这样的方法存在缩短再生间隔的缺点。这是因为，导入气体流量的增加会导致流入至低温栗的气体流入量的增加。[0010]为了克服这种问题，可以调整闸阀的开度。在处理工艺中，使闸阀的阀体也称作阀板保持于完全开启与完全关闭之间的位置。由此，能够降低排气系统的气传导率以降低低温泵的有效排气速度，从而能够提高处理压力。[0011]但是，本发明人认识到仅通过闸阀来调整处理压力存在局限性，尚有改进的余地。[0012]本发明是鉴于这种情况而完成的，本发明的一种实施方式的例示性目的之一在于提供一种无需在真空处理装置中增加处理气体流量也可以提高处理压力的低温泵及闸阀。[0013]用于解决技术课题的手段[0014]本发明的一种实施方式提供一种低温泵，其安装于闸阀上，该闸阀具备闸阀凸缘及阀板的闸阀。低温泵具备:低温泵凸缘，其安装于所述闸阀凸缘;及环状挡片，其从所述低温栗凸缘朝向所述闸阀而沿轴向延伸，从而与所述阀板协同形成环状节流孔。[0015]本发明的一种实施方式提供一种闸阀，所述闸阀具备：阀板.，闸阀凸缘，其具有所述阀板的阀座;及环状挡片，其沿着所述闸阀凸缘而沿周向延伸，从而与所述阀板协同形成环状节流孔。[0016]另外，将本发明的构成要件或表现在方法、装置、系统等乙间进行相互替换的方式也作为本发明的方式也有效。[0017]发明效果[0018]根据本发明，能够提供一种无需在真空工艺装置中增加处理气体流量也可以提高处理压力的低温泵及闸阀。附图说明[0019]图1是概略地表示本发明的一种实施方式所涉及的低温栗的图。[0020]图2是概略地表示从闸阀侧观察本发明的一种实施方式所涉及的低温栗时的情况的图。[0021]图3是概略地表示本发明的另一实施方式所涉及的低温泵的一部分的图。[0022]图4是概略地表示本发明的一种实施方式所涉及的闸阀的图。[0023]图5是概略地表示本发明的另一实施方式所涉及的闸阀的一部分的图。具体实施方式[0024]以下，参考附图对本发明的实施方式进行详细说明。另外，在以下说明中，对相同要件标注相同的符号并适当省略重复说明。并且，以下所述的结构为例示，并不对本发明的范围作任何限定。[0025]图1是概略地表示本发明的一种实施方式所涉及的低温栗10的图。图2是概略地表示从闸阀侧观察本发明的一种实施方式所涉及的低温泵1〇时的情况的图。[0026]低温泵10例如安装于PVD装置或其他真空处理装置的真空腔室100,并用于将真空腔室1〇〇内部的真空度提高至所希望的真空处理中要求的水平。[0027]闸阀102设置于低温泵10与真空腔室100之间。闸阀102具备闸阀凸缘104、阀板106及阀板收纳部108。阀板106是闸阀102的阀体，闸阀凸缘104具有阀座110。在阀板106与阀座110紧贴的情况下，闸阀102被完全关闭。由于阀板106关闭低温泵10的进气口30,因此从真空腔室100向低温泵10的气体流动被截断。如图1中的单点划线所示，在阀板1〇6离开阀座110而收纳于阀板收纳部108的情况下，闸阀102被完全开启。[0028]图1所示的阀板106位于完全开启与完全关闭之间的位置。如图1所示，阀板106与阀座110稍微分开，阀板106与阀座110之间形成有闸阀间隙112。闸阀间隙112通过阀板106的移动而可变。[0029]通过改变闸阀间隙112,排气系统的气传导率得到变化，从而能够调整真空腔室100中的处理压力。若闸阀间隙112变窄，则处理压力变高，若闸阀间隙112变宽，则处理压力变低。如此，能够将闸阀102用于真空腔室100的处理压力的调整中。[0030]低温泵10具备低温栗容器12、低温泵凸缘14及环状挡片16。而且，低温泵10具备制冷机20、入口低温板22、放射屏蔽件24及第2低温板单元26。入口低温板22及放射屏蔽件24可以被统称为第1低温板单元。[0031]低温栗容器12是容纳制冷机20、入口低温板22、放射屏蔽件24及第2低温板单元26的低温泵10的壳体，且为以保持低温栗10的内部空间28的真空气密的方式构成的真空容器。低温荥容器12安装于制冷机20的室温部20a。低温栗容器12包围放射屏蔽件24及入口低温板22。放射屏蔽件24与入口低温板22—同包围第2低温板单元26。[0032]低温泵凸缘14从低温栗容器12的前端朝向径向外侧延伸。低温栗凸缘14遍及低温栗容器12的前端的整周而设置。[0033]低温栗10的进气口30被划定在低温泵凸缘14的径向内侧。气体从真空腔室100通过闸阀102及进气口30进入低温栗1〇的内部空间28。[0034]低温栗凸缘14安装于闸阀凸缘104,由此，低温泵10安装于真空腔室100。低温泵凸缘14具有与闸阀凸缘104接触的凸缘上表面14a。[0035]环状挡片16具有与低温泵凸缘14的径向内侧相邻的环状挡片筒部16a，环状挡片筒部16a沿着低温泵凸缘14而沿周向延伸。环状挡片筒部16a的下端固定于低温栗凸缘14，从环状挡片筒部16a的上端朝向径向内侧延伸有凸缘状部分。如此，环状挡片16遍及进气口30的整周而设置，并且配置于进气口30的最外侧。[0036]环状挡片16的凸缘状部分具有环状挡片上表面16b及环状挡片下表面16c。环状挡片上表面16b与阀座110及阀板106平行，并且与（以与闸阀凸缘104相邻的方式定位的情况下的）阀板106的外周部相向。环状挡片下表面16c与入口低温板22的外周部相向。环状挡片上表面16b的内径D1小于入口低温板22的外径d，环状挡片上表面16b的外径D2大于入口低温板22的外径d。[0037]环状挡片16从低温泵凸缘14朝向闸阀102而沿轴向延伸，从而与阀板106协同形成环状节流孔1S。但是，该延伸部分的轴向长度（g卩，环状挡片筒部16a的轴向长度设定成不与阀板1〇6发生干涉。如此，环状挡片I6以容纳于闸阀凸缘104的内侧的方式形成为沿轴向较短的圆筒状。[0038]环状挡片上表面16b配置成在轴向上比凸缘上表面14a更靠近阀板1〇6。在环状挡片上表面16b与阀板106之间划定有环状节流孔18。环状挡片上表面16b与凸缘上表面14a平行，并且具有与阀座110S卩，闸阀凸缘104的上表面大致相同的轴向高度。环状挡片上表面16b也可以具有稍低于阀座11〇的轴向高度。如此，环状挡片上表面16b与阀板1〇6的下表面协同形成环状节流孔18。[0039]环状挡片上表面16b的径向宽度W1大于从环状挡片上表面l6b至阀板106为止的轴向间隔W2的两倍。换言之，阀板1〇6可以被定位成，从阀板丨06的下表面至环状挡片上表面16b为止的轴向间隔W2成为环状挡片上表面16b的径向宽度W1的一半以下。或者，环状挡片上表面16b的径向宽度W1也可以大于环状挡片上表面16b与阀座11〇之间的轴向高度差的两倍。如此一来，能够充分降低环状节流孔18的气传导率。[0040]、环状挡片16是低温栗容器12的一部分，其既未与入口低温板22接触也未与放射屏蔽件24接触。环状挡片I6并不会被制冷机2〇冷却，而是具有与低温泵容器以相同程度的温度例如室温），因此，气体不会冷凝于环状挡片丨6的表面，环状节流孔18不会被冷凝物堵塞丨因此，具有如下优点:可以将环状节流孔18持续用作气体流路。另一方面，假设环状挡片I6设置在入口低温板22等低温部，则冷凝物会堆积于其表面，可能会导致环状节流孔18的堵塞。[0041]在入口低温板22贯穿有容许气体从低温栗10的外部流入内部的多个小孔22a。环状挡片16配设于该些小孔22a的径向外侧。环状挡片16并未覆盖小孔22a。因此，在阀板1〇6收纳于阀板收纳部1〇8的情况下，环状挡片16不会阻碍气体从真空腔室1〇〇通过入口低温板22而流入低温泵10的内部空间28。因此，在要求较低的处理压力的情况下，可以通过打开闸阀102来实现。[0042]接着，对低温泵10的其他构成要件进行说明。[0043]另外，以下为了更清晰易懂地表示低温栗10的构成要件之间的位置关系，有时使用“轴向”、“径向”等术语。轴向表示通过进气口30的方向（图1中的纵向），径向表示沿着进气口30的方向（图1中的横向）。为方便起见，有时将轴向上相对靠近进气口30的一侧称作“上”，相对远离进气口30的一侧称作“下”。即，有时将相对远离低温泵10的底部的一侧称作“上”，相对靠近低温泵10的底部的一侧称作“下”。在径向上，有时将靠近进气口30的中心的一侧称作“内”，将靠近进气口30的周边的一侧称作“外”。另外，这种表达方式与低温栗10安装于真空腔室100时的配置无关。例如，低温栗10也可以以进气口30沿铅垂方向朝下的方式安装于真空腔室100。[0044]并且，有时将围绕轴向的方向称为“周向”。周向为沿进气口30的第2方向，是与径向正交的切线方向。[0045]制冷机20例如为吉福德-麦克马洪式制冷机所谓的GM制冷机等超低温制冷机。制冷机20为二级式制冷机。因此，制冷机20除了具备室温部20a之外，还具备第1缸体20b、第1冷却台20c、第2缸体20d及第2冷却台20e。[0046]制冷机20构成为，将第1冷却台20c冷却至第1冷却温度，将第2冷却台20e冷却至第2冷却温度。第2冷却温度为低于第1冷却温度的温度。例如，第1冷却台20c冷却至65K〜120K左右，优选冷却至80K〜100K，第2冷却台20e冷却至10K〜20K左右。[0047]第1缸体20b及第2缸体20d形成制冷机结构部，所述制冷机结构部将第2冷却台20e结构性地支承于第1冷却台20c，并且将第1冷却台20c结构性地支承于制冷机20的室温部20a。第1缸体20b及第2缸体20d沿径向以同轴方式延伸。第1缸体20b将制冷机20的室温部20a连接于第1冷却台20c，第2缸体20d将第1冷却台20c连接于第2冷却台20e。室温部20a、第1缸体20b、第1冷却台20c、第2缸体20d及第2冷却台20e依次以直线状排列成一列。[0048]在第1缸体20b及第2缸体20d的内部，以能够往复移动的方式分别配设有第1置换器及第2置换器未图示）。在第1置换器及第2置换器中分别组装有第1蓄冷器及第2蓄冷器未图示）。并且，室温部20a具有用于使第1置换器及第2置换器往复移动的驱动机构（未图示）。驱动机构包括流路切换机构，该流路切换机构切换工作气体的流路以便周期性地重复向制冷机20的内部供给工作气体例如氦及从制冷机20的内部排出工作气体。[0049]制冷机20连接于工作气体的压缩机未图示）。制冷机20使通过压缩机加压的工作气体在内部膨胀从而对第1冷却台20c及第2冷却台20e进行冷却。膨胀的工作气体回收至压缩机并重新被加压。制冷机20通过重复包括工作气体的供给和排出及与该工作气体的供给和排出同步的第1置换器及第2置换器的往复移动的热循环，从而产生寒冷。[0050]图示的低温泵10为所谓的卧式低温泵。卧式低温泵通常是指制冷机20配设成其中心轴与放射屏蔽件24的中心轴正交并且第2冷却台2〇e配置于放射屏蔽件24的中心部的的低温泵。[0051]放射屏蔽件24是为了从来自低温泵真空容器I2的辐射热保护第2低温板单元26而设置的。放射屏蔽件24与第1冷却台20c热连接。由此，第1低温板单元被冷却至第1冷却温度。放射屏蔽件24与低温栗真空容器12之间具有间隙32,放射屏蔽件24未与低温栗真空容器12接触。[0052]为了从来自低温泵10的外部的热源（例如，真空腔室100内的热源）的辐射热保护第2低温板单元26，入口低温板22以覆盖放射屏蔽件24的主开口的方式配设。入口低温板22不仅限制辐射热的进入，还限制气体进入内部空间28。入口低温板22经由放射屏蔽件24与第1冷却台20c热连接。在第1冷却温度下冷凝的气体例如水分捕捉于入口低温板22的表面。[0053]入口低温板22为横穿进气口3〇的一张平板例如，圆板）。入口低温板22的尺寸例如直径与放射屏蔽件24的主开口的尺寸大致相等。[0054]在入口低温板22,有规则地排列有小孔22a。小孔22a分别沿彼此正交的两条直线方向等间隔设置，从而形成小孔2¾的格子。作为代替方案，小孔22a也可以分别沿径向及周向等间隔设置。小孔22a的形状例如为圆形，但并不限于此，小孔22a也可以是具有矩形或其他形状的开口、以直线状或曲线状延伸的狭缝或形成在入口低温板22的外周部的缺口。[0055]代替这样的一张有孔板，入口低温板22例如也可以具备多个小板。或者，入口低温板22也可以具备形成为同心圆状或格子状的百叶窗结构或锯齿状结构。[0056]第2低温板单元26具备多个低温板，这些低温板以包围第2冷却台20e的方式安装于第2冷却台20e。第2低温板单元26未与第1低温板单元接触。第2低温板单元26与第2冷却台20e热连接，第2低温板单元26被冷却至第2冷却温度。[0057]如上所述，低温泵10具备环状挡片16,该环状挡片16从低温泵凸缘14朝向闸阀102沿轴向延伸，从而与阀板106协同形成环状节流孔18。由此，在入口低温板22与阀板106之间形成较窄的气体流路S卩，环状节流孔18。[0058]根据本实施方式，利用随着闸阀1〇2的开闭而变化的阀板106与环状挡片16之间的相对位置关系，能够加大排气系统的气传导率的调整幅度。通过在形成有闸阀间隙112的基础上还形成环状节流孔18，能够进一步减小气传导率。由此，能够降低低温栗1〇的有效排气速度，从而无需增加真空腔室100中的处理气体流量即可提高处理压力。不增加处理气体流量有利于延长低温栗10的再生间隔。[0059]是概略地表示本发明的另一实施方式所涉及的低温杲10的一部分的图。在图1及图2所示的实施方式中，环状节流孔18形成于环状挡片16与阀板1〇6之间，相比之下，在参考图3叙述的下述实施方式中，环状挡片16具有环状节流孔18。[0060]环状挡片16从低温泵凸缘14朝向闸阀102沿轴向延伸，从而与阀板106协同形成环状节流孔18。环状挡片16沿着低温栗凸缘14而沿周向延伸。环状挡片16为低温泵容器12的一部分，其既未与入口低温板22接触也未与放射屏蔽件24接触。[0061]环状挡片16具备环部件40。环部件40具有环中心开口40a及环上表面40b，环部件40在轴向上被定位成，环中心开口40a通过阀板1〇6与环上表面40b的接触而被关闭。环部件40具有沿径向贯穿环部件4〇的开口部例如，狭缝40c。在阀板106关闭环中心开口40a的状态下，开口部40c作为环状节流孔18而发挥作用。如此，环状挡片16与阀板1〇6的下表面协同形成环状节流孔18。[0062]开口部40c的径向宽度大于开口部40c的轴向高度的两倍。如此一来，与图丨及图2的头施方式相同，也能够充分降低环状节流孔18的气传导率。[0063]并且，环状挡片16具备保持器具42。保持器具42构成为在轴向上弹性保持环部件40,并且保持器具42固定于低温泵凸缘14。保持器具42具有弹簧部件42a及环部件保持部42b。环部件保持部42b固定于低温泵凸缘14。环部件保持部4¾形成接受环部件40的下部的凹部，在该凹部容纳有弹簧部件42a。弹簧部件42a的一端连接于环部件40的下部，弹簧部件42a的另一端连接于凹部的底部。开口部40c形成于环部件40的上部，其位于凹部之外。如此，环部件40在轴向上被弹性保持，因此，在阀板1〇6与环上表面40b接触时可能产生的冲击得到缓和。[0064]由于环部件40被弹性保持，因此环上表面40b可以具有稍高于阀座110的轴向高度。阀板106与阀座110之间形成有闸阀间隙112。[0065]环上表面40b也可以具有与阀座110大致相同的轴向高度。或者也可以具有稍低于阀座110的轴向高度。与图1及图2的实施方式相同，在环上表面40b与阀板106之间也可以设定另一个环状节流孔。环部件40也可以不经由保持器具42而直接固定于低温泵凸缘14。[0066]与图1及图2的实施方式相同，根据图3的实施方式也形成有闸阀间隙112及环状节流孔18。由此，能够降低低温泵10的有效排气速度，从而无需增加真空腔室100中的处理气体流量即可提高处理压力。[0067]图4是概略地表示本发明的一种实施方式所涉及的闸阀102的图。在该实施方式中，环状挡片16并未设置于低温泵10而是设置于闸阀102。闸阀102安装于真空处理装置的真空腔室100。闸阀102设置于真空腔室100与低温泵10、涡轮分子泵等其他真空栗或其他真空设备之间。[0068]闹阀102具备阐阀凸缘104、阀板106及阀板收纳部108。阀板106是阐阀102的阀体，闸阀凸缘104具有阀座110。在阀板106与阀座110紧贴的情况下，闸阀102被完全关闭。由于阀板1〇6关闭低温泵10的进气口30,因此从真空腔室100向低温泵10的气体流动被截断。如图4中的单点划线所示，在阀板1〇6离开阀座110而收纳于阀板收纳部108的情况下，闸阀102被完全开启。[0069]图4所示的阀板106位于完全开启与完全关闭之间的位置。如图4所示，阀板106与阀座110稍微分开，阀板106与阀座110之间形成有闸阀间隙112。闸阀间隙112通过阀板106的移动而可变。[0070]通过改变闸阀间隙112,排气系统的气传导率得到变化，从而能够调整真空腔室100中的处理压力。若闸阀间隙112变窄，则处理压力变高，若闸阀间隙112变宽，则处理压力变低。如此，能够将闸阀102用于真空腔室1〇〇的处理压力的调整中。[0071]低温泵凸缘14安装于闸阀凸缘1〇4,由此，低温栗10安装于真空腔室100。低温泵凸缘14具有与闸阀凸缘104接触的凸缘上表面14a。闸阀凸缘104具有与低温泵凸缘14的凸缘上表面14a接触的凸缘下表面i〇4a。凸缘下表面i〇4a为在轴向上与阀座110相反一侧的面。[0072]环状挡片16具有与闸阀凸缘104的径向内侧相邻的环状挡片筒部16a，环状挡片筒部16a沿着闸阀凸缘1〇4而沿周向延伸。环状挡片筒部16a的下端固定于闸阀凸缘104的凸缘下表面104a的附近。从环状挡片筒部丨6a的上端朝向径向内侧延伸有环状挡片丨6的凸缘状部分。如此，环状挡片16遍及闸阀1〇2的整周而设置。[0073]环状挡片16的凸缘状部分具有环状挡片上表面16b及环状挡片下表面16c。环状挡片上表面ieb与阀座no及阀板106平行，并且与（以与闸阀凸缘104相邻的方式定位的情况下的）阀板106的外周部相向。环状挡片下表面16c在闸阀102安装于低温泵10的情况下）与入口低温板22的外周部相向。[0074]环状挡片16沿着闸阀凸缘104而沿周向延伸，从而与阀板1〇6协同形成环状节流孔18。环状挡片16从闸阀凸缘104朝向闸阀1〇2的另一个闸阀凸缘（g卩，安装于真空腔室100的第2闸阀凸缘105而沿轴向延伸。但是，环状挡片16的轴向长度设定成不与阀板106发生干涉。如此，环状挡片16以容纳于闸阀凸缘104的内侧的方式形成为沿轴向较短的圆筒状。[0075]环状挡片上表面16b配置成在轴向上比凸缘下表面104£1更靠近阀板106。在环状挡片上表面16b与阀板106之间划定有环状节流孔18。环状挡片上表面16b与凸缘下表面l〇4a平行，并且具有与阀座110g卩，闸阀凸缘104的上表面大致相同的轴向高度。环状挡片上表面16b也可以具有稍低于阀座11〇的轴向高度。如此，环状挡片上表面16b与阀板1〇6的下表面协同形成环状节流孔18。[0076]环状挡片上表面16b的径向宽度W1大于从环状挡片上表面16b至阀板106为止的轴向间隔W2的两倍。换言之，阀板1〇6可以被定位成，从阀板106的下表面至环状挡片上表面16b为止的轴向间隔W2成为环状挡片上表面16b的径向宽度W1的一半以下。或者，环状挡片上表面16b的径向宽度W1也可以大于环状挡片上表面16b与阀座110之间的轴向高度差的两倍。如此一来，能够充分降低环状节流孔18的气传导率。[0077]环状挡片16是闸阀102的一部分，因此其未与低温泵10的低温部入口低温板22、放射屏蔽件24等接触。环状挡片16并不会被制冷机20冷却，而是具有与真空腔室100相同程度的温度例如室温），因此，气体不会冷凝于环状挡片16的表面，环状节流孔18不会被冷凝物堵塞。因此，具有如下优点:可以将环状节流孔18持续用作气体流路。[0078]如上所述，闸阀102具备环状挡片16,该环状挡片16与阀板106协同形成环状节流孔18。根据本实施方式，利用随着闸阀102的开闭而变化的阀板106与环状挡片16之间的相对位置关系，能够加大排气系统的气传导率的调整幅度。通过在形成有闸阀间隙112的基础上还形成环状节流孔18，能够进一步减小气传导率。由此，能够提高真空腔室100中的处理压力。[0079]图5是概略地表示本发明的另一实施方式所涉及的闸阀102的一部分的图。在图4所示的实施方式中，环状节流孔18形成于环状挡片16与阀板106之间，相比之下，在参考图5叙述的下述实施方式中，环状挡片16具有环状节流孔18。闸阀102可以设置于低温泵10或其他真空设备。为了便于理解，在图5中例示了闸阀102设置于低温泵10的情况，并用虚线表示低温栗10的几个构成要件低温栗凸缘14、入口低温板22、放射屏蔽件24。但是，环状挡片16并未设置于低温泵10而是设置于闸阀102。[0080]环状挡片16沿着闸阀凸缘104而沿周向延伸，从而与阀板106协同形成环状节流孔18。环状挡片16具备环部件40。环部件40具有环中心开口40a及环上表面40b，环部件40在轴向上被定位成，环中心开口40a通过阀板106与环上表面40b的接触而被关闭。环部件40具有沿径向贯穿环部件40的开口部例如，狭缝40c。在阀板106关闭环中心开口40a的状态下，开口部40c作为环状节流孔18而发挥作用。如此，环状挡片16与阀板106的下表面协同形成环状节流孔18。[0081]开口部40c的径向宽度大于开口部40c的轴向高度的两倍。如此一来，与图4的实施方式相同，也能够充分降低环状节流孔18的气传导率。[0082]并且，环状挡片16具备保持器具42。保持器具42构成为在轴向上弹性保持环部件40,并且保持器具42固定于闸阀凸缘104。保持器具42具有弹簧部件42a及环部件保持部42b。环部件保持部42b固定于闸阀凸缘104的凸缘下表面104a的附近。环部件保持部4¾形成接受环部件40的下部的凹部，在该凹部容纳有弹簧部件42a。弹簧部件42a的一端连接于环部件40的下部，弹簧部件42a的另一端连接于凹部的底部。开口部4〇c形成于环部件40的上部，其位于凹部之外。如此，环部件40在轴向上被弹性保持，因此，在阀板1〇6与环上表面40b接触时可能产生的冲击得到缓和。[0083]由于环部件40被弹性保持，因此环上表面40b可以具有稍高于阀座110的轴向高度。阀板106与阀座110之间形成有闸阀间隙112。[0084]环上表面40b也可以具有与阀座110大致相同的轴向高度。或者也可以具有稍低于阀座110的轴向高度。与图4的实施方式相同，在环上表面40b与阀板106之间也可以设定另一个环状节流孔。环部件40也可以不经由保持器具42而直接固定于闸阀凸缘104。[0085]与图4的实施方式相同，根据图5的实施方式也形成有闸阀间隙112及环状节流孔18。由此，能够提高真空腔室100中的处理压力。[0086]以上，根据实施例对本发明进行了说明。本领域技术人员应当理解，本发明并不只限定于上述实施方式，可以进行各种设计变更，可以存在各种变形例，而且这种变形例也属于本发明的范围内。[0087]符号说明[0088]10-低温泵，14-低温泵凸缘，14a-凸缘上表面，16-环状挡片，16b_环状挡片上表面，18-环状节流孔，40-环部件，40a-环中心开口，40b-环上表面，40c-开口部，42-保持器具，102-闸阀，104-闸阀凸缘，106-阀板。[0089]产业上的可利用性[0090]本发明能够利用于低温泵及闸阀领域。

权利要求：1.一种低温泵，其安装于闸阀上，该闸阀具备闸阀凸缘及阀板，所述低温栗的特征在于，具备：低温泵凸缘，其安装于所述闸阀凸缘;及_环状挡片，其从所述低温栗凸缘朝向所述闸阀而沿轴向延伸，从而与所述阀板协同形成环状节流孔。2.根据权利要求1所述的低温栗，其特征在于，所述低温栗凸缘具有与所述闸阀凸缘接触的凸缘上表面，所述环状挡片具有环状挡片上表面，所述环状挡片上表面配置成在轴向上比所述凸缘上表面更靠近所述阀板，在所述环状挡片上表面与所述阀板之间划定有所述环状节流孔。3.根据权利要求2所述的低温栗，其特征在于，所述环状挡片上表面的径向宽度大于从所述环状挡片上表面至所述阀板为止的轴向间隔的两倍。4.根据权利要求1所述的低温栗，其特征在于，所述环状挡片具备环部件，所述环部件具有环中心开口及环上表面，并且所述环部件在轴向上被定位成，所述环中心开口通过所述阀板与所述环上表面的接触而被关闭，所述环部件具有沿径向贯穿所述环部件的开口部。5.根据权利要求4所述的低温栗，其特征在于，所述开口部的径向宽度大于所述开口部的轴向高度的两倍。6.根据权利要求4或5所述的低温泵，其特征在于，所述环状挡片还具备保持器具，所述保持器具固定于所述低温泵凸缘并且在轴向上弹性保持所述环部件。7.—种闸阀，其特征在于，具备：阀板；闸阀凸缘，其具有所述阀板的阀座;及环状挡片，其沿着所述闸阀凸缘而沿周向延伸，从而与所述阀板协同形成环状节流孔。8.根据权利要求7所述的闸阀，其特征在于，所述闸阀凸缘在轴向上与所述阀座相反的一侧具有凸缘下表面，所述环状挡片具有环状挡片上表面，所述环状挡片上表面配置成在轴向上比所述凸缘下表面更靠近所述阀板，在所述环状挡片上表面与所述阀板之间划定有所述环状节流孔。9.根据权利要求8所述的闸阀，其特征在于，所述环状挡片上表面的径向宽度大于从所述环状挡片上表面至所述阀板为止的轴向间隔的两倍。10.根据权利要求7所述的闸阀，其特征在于，所述环状挡片具备环部件，所述环部件具有环中心开口及环上表面，并且所述换部件在轴向上被定位成，所述环中心开口通过所述阀板与所述环上表面的接触而被关闭，所述环部件具有沿径向贯穿所述环部件的开口部。11.根据权利要求10所述的闸阀，其特征在于，所述开口部的径向宽度大于所述开口部的轴向高度的两倍。12.根据权利要求10或11所述的闸阀，其特征在于，所述环状挡片还具备保持器具，所述保持器具固定于所述闸阀凸缘并且在轴向上弹性保持所述环部件。

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