申请/专利权人：中国科学技术大学

申请日：2020-06-18

公开（公告）日：2021-04-23

公开（公告）号：CN213042869U

主分类号：H01J37/20(20060101)

分类号：H01J37/20(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-专利权人的姓名或者名称、地址的变更

法律状态：2021.07.06#专利权人的姓名或者名称、地址的变更;2021.04.23#授权

摘要：本实用新型公开了一种可气体保护的扫描电镜样品台，包括盒体、盒盖和软臂，盒体为圆形或者矩形，盒盖在边缘处有突出，在盒盖与盒体接触面附有粘贴胶，可与盒体紧密粘贴，以实现盒内与盒外气体隔绝；软臂可与盒盖加工成一体，或者通过粘贴或者其他方式实现与盒盖突出处固定。样品台通过气体保护，实现了样品与空气的隔绝。在样品台置于样品交换仓后，通过交换仓的仓门与仓体夹住并固定软臂，待交换仓到达仪器设定的真空度后打开通道阀门将样品推入样品仓。本实用新型使用气体保护的样品台工艺简单，易于制作且成本低廉。

主权项：1.一种可气体保护的扫描电镜样品台，其特征在于：该样品台包括盒体、盒盖和软臂，其中：所述的盒体，为圆形或者矩形，以铁或铝或不锈钢或导电合金为材料，盒体高度在2mm-50mm；圆盒其直径在10mm-60mm之间，矩形盒长度在10mm-60mm之间，宽度在10mm-60mm之间，可以通过导电胶固定于扫描电镜样品交换仓的样品台基座上；所述的盒盖，在边缘处有突出，在盒盖与盒体接触面附有粘贴胶，可与盒体紧密粘贴，以实现盒内与盒外气体隔绝；所述的软臂，具有一定的拉伸强度，易弯曲，长度在5mm-500mm之间，厚度小于0.5mm，软臂可与盒盖加工成一体，或者通过粘贴或者其他方式实现与盒盖突出处固定；样品盒体与盒盖通过粘贴胶实现紧密粘贴；将装有样品的样品台固定于交换仓的样品台基座上，关闭仓门并利用仓门夹住软臂；交换仓真空度到达后，打开交换仓与扫描电镜的通道阀门，将样品台推入扫描电镜的样品仓，软臂一端被仓门夹住固定不动，样品台的盒盖逐渐被软臂拉开至完全与盒体分离。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国科学技术大学 一种可气体保护的扫描电镜样品台

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